electron cyclotron resonance dischargeとは意味・読み方・使い方

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意味・対訳電子サイクロトロン共鳴放電

日英・英日専門用語辞書での「electron cyclotron resonance discharge」の意味

electron cyclotron resonance discharge

電子サイクロトロン共鳴放電

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該当件数 : 1件

例文

The material gas is preferably supplied in the form of high density plasma excited by electron beam excited plasma method, high frequency parallel plate plasma method, high frequency plasma method employing rudder-like discharge electrodes, electron cyclotron resonance plasma method, induction coupling plasma method, or helicon wave plasma method.例文帳に追加

原料ガスはプラズマ化して供給することが望ましく、プラズマの励起法としては電子ビーム励起プラズマ法、高周波平行平板プラズマ法、ラダー状の放電電極を用いた高周波プラズマ法、電子サイクロトロン共鳴プラズマ法、誘導結合型プラズマ法あるいはヘリコン波プラズマ法等の高密度プラズマを用いることを特徴とする。 - 特許庁

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