電子サイクロトロンの英語

ガラス基板またはウエハー処理用電子サイクロトロン共鳴アッシング装置例文帳に追加

ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE ASHING DEVICE FOR TREATING GLASS SUBSTRATE OR WAFER - 特許庁

良好な電子サイクロトロン共鳴加熱を行うことができるプラズマ発生装置を提供する。例文帳に追加

To provide a plasma generating device which can perform a good electron cyclotron resonance heating. - 特許庁

電子サイクロトロン共鳴によって発生するプラズマの電子温度を安定して低い状態に維持する。例文帳に追加

To stably maintain the electronic temperature of plasma to be generated by electronic cyclotron resonance in a low status. - 特許庁

電子サイクロトロン共鳴プラズマ成膜プロセスおよび一重壁カーボンナノチューブのための装置ならびにそれによって得られたナノチューブ例文帳に追加

ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE PLASMA DEPOSITION PROCESS, DEVICE FOR SINGLE-WALL CARBON NANOTUBE, AND NANOTUBE PREPARED BY USING THE SAME - 特許庁

ECR（電子サイクロトロン共鳴）スパッタ法によって、窒素対炭素比（N／C比）が1を越える結晶質の窒化炭素膜を形成できる方法を提供する例文帳に追加

To provide a method by which a crystalline carbon nitride film having >1 nitrogen to carbon ratio (N/C) can be formed by an ECR(electron cyclotron resonance) sputtering method. - 特許庁

この場合、Ｅｕを含有するＺｎＯからなるターゲットを用いた電子サイクロトロン共鳴スパッタ法を用いればよい。例文帳に追加

In this case, an electron cyclotron resonance spatter method using a target comprising ZnO containing Eu may be used. - 特許庁

パワー源174と磁気装置170は、協働して通路139の少なくとも一部分に沿って電子サイクロトロン(ECR)の共振状態を与える。例文帳に追加

The power source 174 and the magnetic apparatus 170 collaborate each other in giving an electron cyclotron resonance(ECR) condition at lease along a part of the passage 139. - 特許庁

電子サイクロトロン共鳴を利用した常温化学蒸着システム及びこれを利用した複合金属膜の製造方法例文帳に追加

SYSTEM FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION AT AMBIENT TEMPERATURE USING ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE AND METHOD FOR DEPOSITING METAL COMPOSITE USING THE SAME - 特許庁