electrostatic deflection systemとは 意味・読み方・使い方

ELECTROSTATIC DEFLECTION SYSTEM FOR CORPUSCULAR RADIATION例文帳に追加

粒子放射線用の静電偏向システム - 特許庁

MAGNETIC/ELECTROSTATIC HYBRID DEFLECTOR FOR ION IMPLANTATION SYSTEM, AND DEFLECTION METHOD OF ION BEAM例文帳に追加

イオン注入システムのための磁気／静電式ハイブリッド偏向器およびイオンビームの偏向方法 - 特許庁

The present invention relates to an electrostatic deflection system for corpuscular radiation which can be used particularly for microstructured and nanostructured applications in a lithography device or a measuring device.例文帳に追加

本発明は、特にリソグラフィ装置又は測定器のミクロ構造及びナノ構造用途に使用できる粒子放射線用の静電偏向システムに関する。 - 特許庁

The hybrid deflector 500 for an ion implantation system is composed of a magnetic deflection module 350 which works to deflect ion beam from a beam axis, an electrostatic deflection module 504 which works to deflect the ion beam from the beam axis, and a controller 304 which, based on one or a plurality of input controlling signals, operates either the magnetic deflection module or the electrostatic deflection module selectively.例文帳に追加

本発明に係るイオン注入システムのためのハイブリッド偏向器５００は、イオンビームをビーム軸から偏向するように動作する磁気偏向モジュール３５０と、前記イオンビームを前記ビーム軸から偏向するように動作する静電偏向モジュール５０４と、１つまたは複数の入力制御信号に基づいて、前記磁気偏向モジュールと前記静電偏向モジュールの１つを選択的に動作させるコントローラー３０４とを含む。 - 特許庁

In the electrostatic deflection system according to the invention, rod-shaped electrodes are held in an axially symmetric arrangement in an inwardly hollow carrier through which a corpuscular beam can be directed.例文帳に追加

本発明による静電偏向システムでは、ロッド状の電極は、粒子線を方向付けることができる内側方向に中空のキャリアに軸対称配置で保持される。 - 特許庁

To provide an X-ray tube device of an electrostatic deflection system capable of economically realizing upgrade of an existing X-ray tube device and carrying out deflection moving of the X-ray focus so that there is no effect on a shape of the X-ray focus and a tube current of the X-ray tube.例文帳に追加

既存のＸ線管装置のアップグレイドを経済的に実現でき、Ｘ線焦点の形状やＸ線管の管電流に影響が出ないようにＸ線焦点を偏向移動できる静電偏向方式のＸ線管装置を提供する。 - 特許庁

A magnetic field formation means 11 for superposing a deflection magnetic field is arranged in an electrostatic field of the ion optical system 7 for transporting ions emitted from an ionization chamber 4 being the ion source to the quadrupolar mass filter 9.例文帳に追加

イオン源であるイオン化室４を出発したイオンを四重極質量フィルタ９まで輸送するイオン光学系７の静電場に、偏向磁場を重畳する磁場形成手段１１を配置する。 - 特許庁