electrostatic deflectionとは 意味・読み方・使い方

To provide a beam deflection scanning device in which a beam diameter, while scanning by electrostatic deflection, can be kept uniform at any scanning position.例文帳に追加

静電偏向による走査中におけるビーム径を走査位置によらずほぼ一定に保つことができるようにする。 - 特許庁

To align time differences of outputs of deflection voltages in respective electrodes of an 8-pole electrostatic deflection means, and to carry out deflection of electron beams in high accuracy, in an electron beam scanning device equipped with an 8-pole electrostatic deflection means deflecting electron beams.例文帳に追加

電子線を偏向する８極静電偏向手段を備えた電子線走査装置において、８極静電偏向手段の各電極で偏向電圧の出力の時間差を高精度に揃え、電子線の偏向を高精度に行う。 - 特許庁

MAGNETIC/ELECTROSTATIC HYBRID DEFLECTOR FOR ION IMPLANTATION SYSTEM, AND DEFLECTION METHOD OF ION BEAM例文帳に追加

イオン注入システムのための磁気／静電式ハイブリッド偏向器およびイオンビームの偏向方法 - 特許庁

To correct three astigmatisms by positively generating an electrostatic hexapole field against a hexapole field generated accompanying an electrostatic deflection field and a static magnetic deflection field in a Wien filter.例文帳に追加

ウィーンフィルタ内で静電偏向場、及び静磁偏向場に付随して発生する六極子場に対して、静電六極子場を積極的に発生させ、３回非点を補正する。 - 特許庁

The influence by a noise component is reduced by changing deflection sensitivity (transformation distance of deflection/deflection voltage) by changing over the effective area of an electrostatic deflector applied according to a scanning magnification factor by dividing the electrostatic deflector into multiple stages.例文帳に追加

静電偏向器を多段に分割して、走査倍率に応じて印加する静電偏向器の実効の面積を切換えることによって、偏向感度（偏向の変移距離／偏向電圧）を変えて、ノイズ成分による影響を軽減する。 - 特許庁

The multi-beam pattern definition device 300 includes a deflection array means 302 and a plurality of electrostatic deflector electrodes 321 for each beamlet.例文帳に追加

偏向アレイ手段３０２、各ビームレット用の複数の静電偏向電極３２１を有する。 - 特許庁

Data based on a forming pattern is converted to an 8-pole deflection signal by a circuit 102, and the deflected signal is applied to an 8-pole electrostatic deflection device 120 via digital/analog converting deflection amplifier 105.例文帳に追加

描画パターンに基づくデータを、回路１０２で８極用の偏向信号に変換し、この偏向信号を８極の静電偏向器１２０にディジタル／アナログ変換偏向アンプ１０５を介して印加する。 - 特許庁

To provide an electrostatic deflection control circuit of an electron beam measuring device, as well as an electrostatic deflection control method, in which high precision in measuring an electron beam can be attained and structural simplification of a device is obtained.例文帳に追加

電子線計測の高精度化を図ることができるとともに、装置の構成の簡易化に寄与することができる電子線計測装置の静電偏向制御回路および静電偏向制御方法を提供する。 - 特許庁