equal falling ratioとは 意味・読み方・使い方

When an organic solvent is supplied in a resist pattern having an aspect ratio of 4.0, and pattern falling in a focus value of -0.2 is equal to 10% or less (9.5% in an experiment result), it is considered that no pattern falling is generated even without inspecting a wafer when exposure is made by the best value ±0 having more excellent exposure conditions.例文帳に追加

アスペクト比４．０のレジストパターンにおいて有機溶剤を供給した場合であって、フォーカス値−０．２におけるパターン倒れが１０％以下（実験結果では９．５％）であれば、これより露光条件の良好なベスト値±０で露光した場合には、ウェハを検査しなくてもパターン倒れが生じていないものとみなすことができる。 - 特許庁