exposure monitorとは 意味・読み方・使い方

PHOTOMASK, FOCUS MONITOR METHOD, EXPOSURE MONITOR METHOD AND PRODUCTION METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加

フォトマスク、フォーカスモニター方法、露光量モニター方法及び半導体装置の製造方法 - 特許庁

To highly sensitively and accurately monitor a deviation of focus position or a variation of the exposure of an exposure light source.例文帳に追加

露光光源の焦点位置ずれまたは、露光量変動を、高感度、高精度にモニターする。 - 特許庁

To provide an exposure apparatus which can easily monitor a status of fluid used for immersion exposure.例文帳に追加

液浸露光に使用される流体の状態を容易にモニタリングできる露光装置を提供する。 - 特許庁

Additionally, the opening part of the exposure monitor pattern has an exposure light transmittance different from that of the opening part of the device pattern.例文帳に追加

また、露光量モニターパターンの開口部は、デバイスパターンの開口部と露光光透過率が異なる。 - 特許庁

RADIATION DISTRIBUTION MONITOR, RADIATION DETECTOR, AND EXPOSURE CONTROL SYSTEM例文帳に追加

放射線分布監視装置，放射線検出装置及び被曝管理装置 - 特許庁

To provide an exposure system which can monitor a polarization direction of irradiation light.例文帳に追加

照射光の偏光方向をモニタ可能な露光システムを提供する。 - 特許庁

The user can omit the operation to enter a monitor exposure command when he watches the image on the monitor 21.例文帳に追加

利用者は、モニタ２１で映像を見るにあたって、モニタ露出指令を入力する操作を省くことができる。 - 特許庁

Each section is initialized in a monitor mode (S1), and an exposure control mode is set (S2).例文帳に追加

モニタ・モードで各部を初期化し（Ｓ１）、露出制御モードを設定する（Ｓ２）。 - 特許庁