exposure modelとは 意味・読み方・使い方

The selected process model is used to perform optical proximity effect correction for the mask pattern for exposure.例文帳に追加

そして、選択したプロセスモデルを用いて、露光用マスクのマスクパターンに対する光近接効果補正を行うようにする。 - 特許庁

With a smaller number of measurements required than the prior-art multiple-model calibration, the focus-exposure model provides more predictive and more robust model parameter values that can be used at any location in the process window.例文帳に追加

従来技法の複数モデルキャリブレーションよりも少ない必要とされる測定値数で、フォーカス露光モデルは、プロセスウィンドウ内のいかなる位置でも使用することができる、より予測的でありより堅固なモデルパラメータ値を提供する。 - 特許庁

In a step 522, a reticle expansion/contraction variation amount during the exposure is calculated using results of before-exposure alignment measurement and after-exposure overlap measurement, and corrected, and a parameter of the reticle expansion/contraction correction model is modified so as to correct the reticle expansion/contraction variation amount.例文帳に追加

ステップ５２２で露光前アライメント計測と露光後重ね合わせ計測との結果を用いて露光中のレチクル伸縮変動量を算出し、これを補正するため、レチクル伸縮補正モデルのパラメータを修正する。 - 特許庁

The pre-specified exposure information used to configure an exposure of the fields is then modified based on the thermally-induced deformation information as predicted by the model.例文帳に追加

次に、フィールドの露光を設定するために使用される所定の露光情報が、そのモデルにより予測された熱的に引き起こされる変形についての情報に基づいて修正される。 - 特許庁

Then, using the optimized reticle contraction correction model, the pattern is aligned to a target layer of a wafer, which is a next exposure object.例文帳に追加

そして、最適化後のレチクル伸縮補正モデルを用いて、パターンを次の露光対象のウエハのターゲット層に位置合わせする。 - 特許庁

To provide a method and a system for optimizing the common process window of device design and an exposure tool by combining with a mask error model.例文帳に追加

マスクエラーモデルと組み合わせ、デバイス設計の共通プロセス窓や露光ツールを最適化する方法、及びシステムを提供する。 - 特許庁

METHOD, PROGRAM PRODUCT AND APPARATUS FOR PERFORMING MODEL BASED COLORING PROCESS FOR PATTERN DECOMPOSITION FOR USE IN MULTIPLE EXPOSURE PROCESS例文帳に追加

多重露光プロセスにおいて用いるパターン分解のためのモデルベースのカラーリングプロセスを実行するための方法、プログラム製品、及び装置 - 特許庁

The exposure length of the model 17 exposed in the tunnel 11 can be freely changed by driving the cylinder 22 to move the floor member 13 vertically.例文帳に追加

シリンダ２２を駆動して床部材１３を上下動させれば、風洞１１内に露呈する模型１７の露出長を自由に変更できる。 - 特許庁