exposure modelとは 意味・読み方・使い方

Then, using the optimized reticle contraction correction model, the pattern is aligned to a target layer of a wafer, which is a next exposure object.例文帳に追加

そして、最適化後のレチクル伸縮補正モデルを用いて、パターンを次の露光対象のウエハのターゲット層に位置合わせする。 - 特許庁

To provide a method and a system for optimizing the common process window of device design and an exposure tool by combining with a mask error model.例文帳に追加

マスクエラーモデルと組み合わせ、デバイス設計の共通プロセス窓や露光ツールを最適化する方法、及びシステムを提供する。 - 特許庁

The exposure length of the model 17 exposed in the tunnel 11 can be freely changed by driving the cylinder 22 to move the floor member 13 vertically.例文帳に追加

シリンダ２２を駆動して床部材１３を上下動させれば、風洞１１内に露呈する模型１７の露出長を自由に変更できる。 - 特許庁

The selected process model is used to perform optical proximity effect correction for the mask pattern for exposure.例文帳に追加

そして、選択したプロセスモデルを用いて、露光用マスクのマスクパターンに対する光近接効果補正を行うようにする。 - 特許庁

Meanwhile, a policy for the "difficult-to-return zone," whose annual radiation exposure level exceeds 50millisieverts, is to conduct verification operations for radiation dose reduction in model projects for the time being.例文帳に追加

一方、50ミリシーベルト超の「帰還困難区域」は、当面モデル事業で放射線量の低減につき検証作業を進める方針である。 - 経済産業省

The area is calculated by a highly precise model, when the minimum dimension of the mask pattern is lower than a prescribed threshold value set in the vicinity of an exposure wavelength, and the area other than the area is calculated by a fast model (STEP 5).例文帳に追加

マスクパターンの最小寸法が露光波長付近で設定される所定のしきい値を下回る場合に、その領域を高精度なモデルで計算し、それ以外の領域を高速なモデルで計算する（ＳＴＥＰ５）。 - 特許庁

With a smaller number of measurements required than the prior-art multiple-model calibration, the focus-exposure model provides more predictive and more robust model parameter values that can be used at any location in the process window.例文帳に追加

従来技法の複数モデルキャリブレーションよりも少ない必要とされる測定値数で、フォーカス露光モデルは、プロセスウィンドウ内のいかなる位置でも使用することができる、より予測的でありより堅固なモデルパラメータ値を提供する。 - 特許庁

Also, testee body three-dimensional CT value model data 28 are calculated from the reference human body CT value model data 25 and the testee body virtual scanogram data 36a and 36b, and an appropriate X-ray condition in terms of image quality and an exposure dose is calculated on the basis of the testee body three-dimensional CT value model data 28.例文帳に追加

また基準人体ＣＴ値モデルデータ２５と被検体仮想スキャノグラムデータ３６ａ，３６ｂから被検体三次元ＣＴ値モデルデータ２８を算出し、この被検体三次元ＣＴ値モデルデータ２８に基づいて画質と被曝線量の点で適正なＸ線条件を算出する。 - 特許庁