face chuckとは 意味・読み方・使い方

A chuck lead plate 54 is so provided as to face a support surface 56 of a chuck top 49.例文帳に追加

チャックトップ４９の支持面５６に対面するようにチャックリード板５４を設ける。 - 特許庁

A wafer reference face (9) to which an outer peripheral edge (8) of the wafer (1) abuts, and a chuck abutting face (11) abutting on the chuck reference face (10) arranged in the chuck (2), are formed in the wafer guide plate (7).例文帳に追加

このウエーハガイド板（７）に、ウエーハ（１）の外周縁（８）が当接するウエーハ基準面（９）と、チャック（２）に設けたチャック基準面（１０）に当接するチャック当接面（１１）を形成する。 - 特許庁

A first air hole 50 is formed on the chuck face 46.例文帳に追加

チャック面４６に第１の空気孔５０が形成されている。 - 特許庁

According to the method, the dimples 6 are transferred onto the chuck face S1.例文帳に追加

その結果、チャック面Ｓ１にディンプル６が転写形成される。 - 特許庁

The wafer guide plate (7) is moved and it is stopped at a fixed position where the chuck abutting face (11) abuts on the chuck reference face (10).例文帳に追加

上記ウエーハガイド板（７）を移動し上記チャック当接面（１１）がチャック基準面（１０）に当接した定位置で停止させる。 - 特許庁

Thereafter, the surface of the chuck is washed (S3) by means of alcohol or a neutral detergent, and then the chuck is stored (S4) in a chuck case so that an adsorbing face of the chuck is free from contact.例文帳に追加

その後、アルコールや中性洗剤を使用してチャックの表面を洗浄Ｓ３した後、チャックの吸着面が非接触となるようにチャックケース中に収容Ｓ４する。 - 特許庁

An underside chuck 11 and an upperside chuck 12 are provided in a processing container 10 so as to face each other.例文帳に追加

処理容器１０内には，下部チャック１１と，上部チャック１２が互いに対向するように設けられる。 - 特許庁

CHUCK, PROCESSING UNIT, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND METHOD FOR CLEANING CHUCKING FACE例文帳に追加

チャック、処理ユニット、基板処理装置およびチャック面洗浄方法 - 特許庁