平チャックの英語

洗浄部材３１のチャックテーブル１１のチャック面１２の半径方向Ｊに垂直な平面で切った断面のうち、少なくともチャックテーブル１１のチャック面１２に接触する部位は曲線で構成されている。例文帳に追加

Of the cross section of the chuck face 12 of the chuck table 11 of the cleaning member 31 cut along a flat plane perpendicular to a radial direction J at least a portion comprises a curved line in contact with the chuck face 12 of the chuck table 11. - 特許庁

静電チャックにより発生する静電力の平衡化方法および装置例文帳に追加

METHOD AND DEVICE FOR BALANCING ELECTROSTATIC POWER GENERATED BY ELECTROSTATIC CHUCK - 特許庁

スピンコーター用平面チャックとこれを用いる塗布方法例文帳に追加

PLANE CHUCK FOR SPIN COATER AND COATING METHOD USING THE SAME - 特許庁

吸着面の平面度が良好である静電チャック装置を提供する。例文帳に追加

To provide an electrostatic chuck device excellent in flatness of a suction surface. - 特許庁

ウエハＷはスピンチャックにより水平姿勢で保持されている。例文帳に追加

A wafer W is held in a horizontal posture by a spin chuck. - 特許庁

基板Ｗはスピンチャック１１に略水平姿勢にて保持される。例文帳に追加

A substrate W is retained by a spinning chuck 11 in a substantially horizontal posture. - 特許庁

平坦性を高めてチャックすることができる半導体ウェハのチャック装置および方法を提供する。例文帳に追加

To provide a chucking apparatus and method for semiconductor wafers, whereby a semiconductor wafer can be so chucked to improve its planarity. - 特許庁

ワークを水平方向に保持するためにチャックの外周部に設けられる止め用具の適用を廃止できる非接触チャックを得る。例文帳に追加

To obtain a non-contact chuck which dispenses with a stopper provided in the periphery of the chuck for holding a work horizontally. - 特許庁