functional system performance requirementとは 意味・読み方・使い方

To provide a control system for making a multi-chamber system to a chamber group capable of realizing the highly adaptable system corresponding to the user's requirement in a film forming device, etc., furnished with plural processing chambers, by using a highly functional controller, realizing the optimum number of controllers and their arrangement, reducing the number of necessary controllers and improving the performance of the whole device.例文帳に追加

多数処理チャンバを備える成膜装置等で、高機能制御器を用い、制御器の最適な個数と配置を実現し、必要な制御器の個数を低減し、装置全体として性能の向上を図り、ユーザの要望に応じた融通性の高いシステムを実現できるマルチチャンバシステムのチャンバグループ化制御システムを提供する。 - 特許庁