grounding reactorとは 意味・読み方・使い方

A method and apparatus for grounding a semiconductor substrate pedestal during a portion of a high-voltage power bias oscillation cycle to reduce or eliminate the detrimental effects of the feature charging during the operation of a plasma reactor.例文帳に追加

半導体基板のペデスタルを高電圧パワーバイアス振動サイクルの一部において接地し、それにより、プラズマリアクタ動作中のフィーチャー帯電の有害な作用を低減または排除するための方法および装置。 - 特許庁

The exhaust emission control device 1 has: a plasma reactor 3 which has the dielectrics 12 and a pair of electrodes 13 (electrode 43 of high voltage during emission control and electrode 33 of grounding during emission control) facing the dielectrics 12 interposed between them; and a cleaning electrode 24 arranged upstream of the plasma reactor 3 in a flow direction of exhaust gas.例文帳に追加

排気ガス浄化装置１において、誘電体１２と、この誘電体１２を挟んで対向する１対の電極１３（浄化時高電圧極４３および浄化時接地極３３）とを備えるプラズマ反応器３と、プラズマ反応器３よりも排気ガスの流れ方向上流側に、清掃用電極２４を配置する。 - 特許庁

In a preferable embodiment, the power loop generated by the first high-frequency power source is so grounded at a grounding point as to remove or at least reduce its interference with other reactor constituents including the thermocouple.例文帳に追加

好適実施例においては、第１高周波パワーソースによって発生したパワーループが、接地点で接地され、熱電対を含む他の反応器構成部品と干渉するのを除去あるいは少なくとも減少するようになっている。 - 特許庁

To provide a power distribution system which can compensate a one-line grounding current surely and inexpensively even in the case that distribution lines of large capacitance to the earth are mixed and even if the switching of distribution systems is performed, and an on-street reactor device.例文帳に追加

対地静電容量の大きい配線線が混在する場合であっても、また配電系統の切替が生じた場合であっても、確実かつ安価に１線地絡電流補償を行うことができる配電システムおよび路上リアクトル装置を提供すること。 - 特許庁

A common-mode reactor CL11 is provided in a noise filter, and also series circuits in which capacitors C11 to C13 are respectively series-connected to reactors L14 to L16 are provided; and these series circuits are respectively connected to between a power supply line for supplying a three-phase voltage and the grounding.例文帳に追加

ノイズフィルタにはコモンモードリアクトルＣＬ１１を設けるとともに、コンデンサＣ１１〜Ｃ１３とリアクトルＬ１４〜Ｌ１６とがそれぞれ直列接続された直列回路を設け、これらの直列回路は３相電圧を供給する電源供給線と接地間にそれぞれ接続する。 - 特許庁

On-street reactor devices RC1-RC9 which have reactors for compensating grounding currents for distribution lines C1-C9 of cables arranged underground and are arranged on the ground, are distributed to correspond to the magnitude of the capacitance to the earth of the distribution lines C1-C9.例文帳に追加

地中に配設されたケーブルによって実現される配電線Ｃ１〜Ｃ９に対して、地絡電流を補償するリアクトルを有し、地上に配置される路上リアクトル装置ＲＣ１〜ＲＣ９を、配電線Ｃ１〜Ｃ９の対地静電容量の大きさに対応して分散配置する。 - 特許庁