hexafluoroacetyl acetoneとは 意味・読み方・使い方

This candle with flame colored in almost all range or all range of the flame, is obtained by adding an alkaline metal salt, alkaline earth metal salt or aluminum group element salt of trifluoroacetyl acetone or hexafluoroacetyl acetone to a substance manifesting the flame reaction.例文帳に追加

炎色反応を示す物質へのトリフルオロアセチルアセトンまたはヘキサフルオロアセチルアセトンのアルカリ金属塩、アルカリ土類金属塩またはアルミニウム族元素の塩の使用により、炎の大部分または全領域に着色可能なろうそくを得ることができるようになった。 - 特許庁

To provide a method for cleaning a vaporization and supply device and a semiconductor manufacturing device capable of easily removing raw materials and reaction residues left in the vaporization and supply device and the semiconductor manufacturing device in a short time without using any expensive cleaning solution in completing a copper film forming process through CVD using a hexafluoroacetyl acetone copper complex as a raw liquid material.例文帳に追加

ヘキサフルオロアセチルアセトン銅錯体を液体原料として用いたＣＶＤによる銅の成膜プロセスの終了時において、気化供給装置、半導体製造装置に残留した原料及び反応残留物を、高価な洗浄液を使用することなく、短時間で容易に除去することが可能な気化供給装置及び半導体製造装置の洗浄方法を提供する。 - 特許庁