high accuracy alignmentとは 意味・読み方・使い方

To provide alignment marks which improve the alignment of wafers with high accuracy.例文帳に追加

ウェハの位置合わせの精度を向上させることができるアライメントマークを提供すること。 - 特許庁

To perform alignment with high accuracy.例文帳に追加

本発明の課題の一つは高精度な位置合わせを行うことにある。 - 特許庁

Since alignment is performed using only the alignment mark of high contrast, accuracy in positioning by alignment is improved.例文帳に追加

高コントラストのアライメントマークのみを用いて位置合わせを行うので、アライメントによる位置合わせの精度を向上できる。 - 特許庁

To provide a method for arranging a device performing high-accuracy alignment.例文帳に追加

精度の高い位置合わせが可能なデバイスの配置方法を提供する。 - 特許庁

To form an alignment mark having high accuracy.例文帳に追加

本発明は、精度の高い位置決めマークを形成することを目的とする。 - 特許庁

To provide an exposure apparatus performing division exposure with high alignment accuracy.例文帳に追加

アライメント精度の高い分割露光が可能な露光装置を提供する。 - 特許庁

To provide a means for detecting alignment accuracy with high accuracy, in an ion implantation process.例文帳に追加

イオン注入工程におけるアライメント精度を、高精度に検出する手段を提供すること。 - 特許庁

To provide an alignment apparatus in which a stick-slip phenomenon is not generated and by which a high-accuracy alignment can be performed.例文帳に追加

スティックスリップ現象が発生せず、しかも高精度のアライメントが可能なアライメント装置を提供する。 - 特許庁