high vacuum pumpとは 意味・読み方・使い方

The evacuation device has a high vacuum pump 2 to exhaust gas in a vacuum chamber 1 and a low vacuum pump 3 for roughing.例文帳に追加

真空装置は、真空室１内のガスを排気する高真空ポンプ２とあら引き用の低真空ポンプ３とを備えている。 - 特許庁

To precisely control an oil diffusion vacuum pump in a centrifugal separator which makes the inside of a rotation chamber in a high vacuum state by using the oil diffusion vacuum pump.例文帳に追加

油拡散真空ポンプを使用して回転室内を高真空にする遠心分離機において、油拡散真空ポンプを精度良く制御する。 - 特許庁

Using a dry type vacuum pump 7 as a vacuum pump, a HEPA (High Efficiency Particulate Air) filter 12 connected to a space between a chamber 3 and the vacuum pump heretofore is connected to the exhaust side of the dry type vacuum pump 7.例文帳に追加

真空ポンプとしてドライ式真空ポンプ７を用い、従来はチャンバ３と真空ポンプの間に接続していたＨＥＰＡフィルタ１２を、ドライ式真空ポンプ７の排気側に接続した。 - 特許庁

To provide a vacuum pump which is small, low-priced and capable of speedily providing a high vacuum.例文帳に追加

小型かつ低価格で高真空を迅速に得られる真空ポンプを提供する。 - 特許庁

The vacuum evacuating unit 10 has a roughing pump 4 and a high vacuum pump 3 to evacuate inside the vacuum chamber, wherein one end of a rough evacuation valve 13 the other end of which is connected to the vacuum chamber 2 and a gas discharge valve 12 of the high vacuum pump 3 are connected to the suction side of the roughing pump 4.例文帳に追加

真空排気部１０は、真空チャンバ内を排気する粗引きポンプ４と高真空ポンプ３を有し、粗引きポンプ４の吸気側には、他端が真空チャンバ２に接続される粗引きバルブ１３と、高真空ポンプ３の排気側バルブ１２とが接続される。 - 特許庁

ROTARY MULTISTAGE VACUUM PUMP DEVICE DEALING WITH HIGH TEMPERATURE GAS例文帳に追加

高温ガスを取扱うロータリ形多段真空ポンプ装置 - 特許庁

This invention relates to the vacuum pump with the high-speed rotating rotor.例文帳に追加

本発明は高速回転ロータを有する真空ポンプに関するものである。 - 特許庁

METHOD AND DEVICE FOR CONTROLLING VACUUM PUMP FOR CONTINUOUS HIGH PRESSURE TREATMENT DEVICE例文帳に追加

連続高圧処理装置の減圧ポンプ制御方法および制御装置 - 特許庁