highly accelerated electronとは 意味・読み方・使い方

A highly accelerated electron beam impinged on the specimen.発音を聞く 例文帳に追加

高加速電子ビームが、試料に衝突した。 - 科学技術論文動詞集

If a sample S1 is irradiated by a highly accelerated electron beam to observe the image of the sample S1, the sample S1 is heated by the electron beam irradiation.例文帳に追加

試料Ｓ_１の像観察のために試料Ｓ_１に高加速の電子線が照射されると、その電子線照射によって試料Ｓ_１は加熱される。 - 特許庁

In a Faraday cup 2 for measuring an electron beam, tantalum or a heavy metal material having an atomic number larger than that of tantalum is used, and a Faraday cup structure having a high aspect ratio is composed, so that electron beam measurement capable of preventing large beam leakage even for a fine and highly accelerated electron beam 1 can be realized.例文帳に追加

電子ビーム計測用ファラディカップ（２）において、タンタルもしくはタンタル以上の原子番号の大きな重金属材料を用い、かつアスペクト比の高いファラディカップ構造をとることにより微細でも高加速電子ビーム（１）に対してもビーム漏えいの少ない電子ビーム計測が可能となる。 - 特許庁

To provide a method for estimating the shape of resist pattern, by which the quantity of accumulated energy can be easily and accurately obtained in a highly accelerated electron beam exposure area, and its calculation time is not made longer and a memory of a calculator is not made larger.例文帳に追加

50keV以上の高加速電子線露光領域においてもエネルギー蓄積量を正確かつ簡単に求めることができ、計算時間や計算機メモリが大きくならないレジストパターン形状の推定方法を提供する。 - 特許庁