isothermal atmosphereとは 意味・読み方・使い方

Then, in the step of the next step S2, by applying isothermal annealing to the wafer in an oxygen-containing gas atmosphere then applying rapid heat reduction thereto, solid solution oxygen is injected to the surface layer part of the DZ (Denuded Zone) layer or silicon epitaxial layer of the wafer, and the concentration is adjusted.例文帳に追加

そして、次のステップＳ２の工程において、上記ウェーハを酸素含有ガス雰囲気中で等温熱処理しその後に急速降温を施すことによって、ウェーハのＤＺ層あるいはシリコンエピタキシャル層の表層部に固溶酸素の注入およびその濃度の調節を行う。 - 特許庁

A formed part composed essentially of amorphous alloy is heat treated under a reactive-gas-containing atmosphere and under the conditions of temperature and time within the amorphous region of the isothermal transformation curve (TTT curve) of the material, by which a ceramic hard layer is formed on the surface of the formed part.例文帳に追加

実質的に非晶質の合金からなる成形品を、反応性ガスを含む雰囲気下にてその材料の等温変態曲線（ＴＴＴ曲線）のアモルファス領域内の温度及び時間で熱処理し、上記成形品表面にセラミック系硬質層を形成する。 - 特許庁