large area plasmaとは 意味・読み方・使い方

To provide a plasma treatment apparatus in which a plasma of a large area is easily generated.例文帳に追加

大面積のプラズマを容易に生成するプラズマ処理装置を提供する。 - 特許庁

To provide a microwave plasma processor which performs uniform plasma processing of an object having a large area.例文帳に追加

均一性を保ちつつ、大面積のプラズマ処理を行えるプラズマ処理装置。 - 特許庁

The plasma processing equipment is used for the large area wafer processing.例文帳に追加

プラズマ処理装置は大面積ウェハー処理のために使用される。 - 特許庁

LARGE AREA MICROWAVE PLASMA APPARATUS WITH ADAPTABLE APPLICATOR例文帳に追加

適合可能なアプリケータを備えた大面積マイクロ波プラズマ装置 - 特許庁

METHOD AND DEVICE FOR UNIFORMIZING HIGH FREQUENCY PLASMA OVER LARGE AREA IN PLASMA CVD APPARATUS例文帳に追加

プラズマ化学蒸着装置における高周波プラズマの大面積均一化方法及び装置 - 特許庁

To provide a plasma processing apparatus generating high-density plasma with even plasma density over a large area.例文帳に追加

大面積にわたって均一なプラズマ密度を有する高密度プラズマを生成できるプラズマ処理装置を提供する。 - 特許庁

METHOD AND APPARATUS FOR PERFORMING PLASMA TREATMENT WITH HIGH SELECTIVITY AND HIGH UNIFORMITY OVER LARGE AREA例文帳に追加

高選択比かつ大面積高均一プラズマ処理方法及び装置 - 特許庁

To improve a plasma excitation device for coating a large-area substrate.例文帳に追加

大面積の基板をコーティングするためのプラズマ励起装置を改善する。 - 特許庁