large area exposureとは 意味・読み方・使い方

In the method of exposure when there is no large area pattern around a subfield SF on the substrate to be transferred, the exposure is performed with uniform illumination intensity (Fig.(B)).例文帳に追加

被転写基板上でサブフィールドＳＦの周囲に大面積パターンがない場合には一様の照明強度で露光を行う（図１（Ｂ））。 - 特許庁

To provide an exposure device capable of exposing a large-area surface by using ultraviolet rays having uniform illuminance.例文帳に追加

均一な照度の紫外線を用いて大面積の面の露光を行なうことができる露光装置を提供する。 - 特許庁

To provide an exposure device capable of transferring a circuit pattern with excellent image-forming performance without lowering throughput even when an exposure area is large.例文帳に追加

露光領域が大きな場合でも、スループットを低下させずに、良好な結像性能のもとで回路パターンを転写できる露光装置を提供すること。 - 特許庁

To provide a mask transport apparatus for a proximity exposure apparatus which can be miniaturized because a mask holding mechanism does not become large, even when the apparatus is a large-size proximity exposure apparatus having a large installation area due to using a large-size substrate.例文帳に追加

大型サイズの基板を使用することで設置面積が増大した大型の近接露光装置となっても、マスクを保持するためのマスク保持機構が大型にならず、小型化を図ることができる近接露光装置のマスク搬送装置を提供する。 - 特許庁

To provide an exposure apparatus and an exposure method, by which an exposure pattern of a large area can be produced in any two-dimensional arrangement by accurately controlling the start point of exposure of adjoining exposure marks on a resist layer covering a roll.例文帳に追加

ロールを被覆するレジスト層上で隣接する露光マークの露光開始点を正確に制御し２次元的に自在な配置に大面積の露光パターンを作製可能な露光装置及び露光方法を提供することを目的の一とする。 - 特許庁

As desired, before the exposure, a large area of the surface can be treated chemically by a strong base.例文帳に追加

所望により、上記露光に先立って上記表面を大面積で強塩基により化学的に処理することができる。 - 特許庁

To provide a pellicle having a large effective exposure area and moreover very low probability of generation of dust or adhesion of duct.例文帳に追加

露光有効エリアの大きな、しかも発塵或は塵埃の付着の可能性が極めて少ないペリクルを目的とする。 - 特許庁

The large-sized LCOS display element has an image display area and a peripheral drive circuit area on the outer periphery of the image display area, wherein the image display area is formed by one time of exposure, and the peripheral drive circuit area on the outer periphery of the image display area is connected by two or more times of exposure.例文帳に追加

画像表示領域と画像表示領域外周に周辺駆動回路領域を有する大型ＬＣＯＳ表示素子であって、画像表示領域は１回の露光で形成し、画像表示領域外周の周辺駆動回路領域を複数回露光して繋ぎ合わせる大型ＬＣＯＳ表示素子とする - 特許庁