laser doping systemとは 意味・読み方・使い方

To provide an improved method and system of doping semiconductor material with use of a laser.例文帳に追加

半導体材料をレーザードープするための改善された方法およびシステムを提供する。 - 特許庁

To provide a doping system generating plasma (ion), accelerating it by high voltage to form an ion current, irradiating a substrate with it and furthermore, irradiating the substrate with a linear laser beam, and especially suitable for treatment of a wide area substrate.例文帳に追加

プラズマ（イオン）を発生させて、これを高電圧で加速してイオン流を形成し、これを基板に照射し、更に基板に線状レーザー光を照射するドーピング装置において、特に大面積基板を処理するのに適した装置を提案する。 - 特許庁