micro electro-mechanical systemとは 意味・読み方・使い方

METHOD OF FORMING MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM (MEMS) DEVICE例文帳に追加

微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）デバイスを形成する方法 - 特許庁

MEMS (MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM) MICROMOTOR AND CLOCK EQUIPPED THERWITH例文帳に追加

ＭＥＭＳマイクロモータおよびこのマイクロモータを装備する時計 - 特許庁

MICRO-ELECTRO MECHANICAL SYSTEM (MEMS) BASED EFFICIENT IMAGING ARRAY JET例文帳に追加

高効率画像アレイ微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）ジェット - 特許庁

MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM ACCELERATION SENSOR AND METHOD FOR MANUFACTURING MICRO PHOTO MECHANICAL SYSTEM ACCELERATION SENSOR例文帳に追加

微小光電気機械素子加速度センサおよび微小光電気機械素子加速度センサ製造方法 - 特許庁

To provide a package which has improved air-tightness of an accommodation space 2 for accommodating an electronic component body 17 as an MEMS (Micro Electro Mechanical System).例文帳に追加

ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）ストラクチャである電子部品本体１７を収納する収納空間２の気密性を向上したパッケージを提供する。 - 特許庁

The miller elements 11 are manufactured by a micro-electro- mechanical system (MEMS).例文帳に追加

ミラー素子１１は微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）により作製する。 - 特許庁

To provide a micro-electro-mechanical system with performance improved by electrically connecting the micro-electro-mechanical system to an external electric component for preventing leakage.例文帳に追加

マイクロ電子機械システムと外部の電気構成要素を電気的に連結しリークを防止して性能に優れるマイクロ電子機械システムを提供する。 - 特許庁

To prevent polluting particles enter into the motor gap of a micro electro mechanical system(MEMS) micro actuator.例文帳に追加

マイクロエレクトロメカニカル機械（ＭＥＭＳ）マイクロアクチュエータのモータ・ギャップに汚染粒子が入るのを防止する。 - 特許庁