To provide an inspection system by which investigation or the like of the causes of defects of a semiconductor sample can be easily performed by making the work for observing defects detected by a SEM (scanning electron microscope)-aided appearance inspection apparatus is surely performable with the use of a review apparatus with high definition.例文帳に追加

ＳＥＭ式外観検査装置で検出した欠陥をレビュー装置で高分解能観察する作業を容易、且つ確実に行えるようにし、半導体試料の欠陥に対する原因究明等が容易に行える検査システムを提供する。 - 特許庁

To provide a configuration to prevent an easy forgery by a means such as the investigation of a hologram pattern using an optical microscope, in a optical recording medium (computer generated hologram(CGH) recording medium) recorded with information by using a CGH.例文帳に追加

計算機生成ホログラム（ＣＧＨ：Ｃｏｍｐｕｔｅｒ Ｇｅｎｅｒａｔｅｄ Ｈｏｌｏｇｒａｍ）を用いて情報を記録した光記録媒体（ＣＧＨ記録媒体）において、光学顕微鏡でホログラムパターンを調べる等の手段によって容易に偽造を行うことを防止する構成を提供する。 - 特許庁