microstructure fabricationとは 意味・読み方・使い方

To provide an electron emitting element superior in electron emitting ability, its uniformity, and stability, and which is composed of a simple structure not having microstructure to require micro-fabrication and in which a diamond emitter is formed.例文帳に追加

電子放出能及びその均一性、安定性に優れ、かつ極微細加工を要する極微構造を持たない容易な構造からなる、ダイヤモンドエミッタが形成された電子放出素子を提供する。 - 特許庁

Batch-compatible post-fabrication annealing method and system are described in such a manner that they are used to trim a resonance frequency of a mechanical microstructure, particularly a micromechanical structure such as a micromechanical resonator and to enhance a Q factor.例文帳に追加

機械的マイクロ構造、特にマイクロメカニカル共振器の様なマイクロメカニカル構造の共振周波数を調整し且つＱ因子を増大するのに使用することができる、一括処理に適合する製造後アニーリング方法及び装置。 - 特許庁