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To provide Model Based Optical Proximity Correction (MOPC) biasing techniques for optimizing a mask pattern, which takes into account the influence of neighboring features with respect to the mask.例文帳に追加
マスクに対する近傍の特徴構造の影響を考慮するマスク・パターンの最適化のためのモデル・ベースの光学的近接効果補正（ＭＯＰＣ）バイアス技術を提供する。 - 特許庁
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