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Thereby the degree of precision of flow rate control of the source gas is improved and the generation of nervation of the porous base material 9 and the characteristic fluctuation can be curbed.例文帳に追加
これにより、原料ガスの流量制御の精度を向上させ、多孔質母材９の脈理の発生や特性変動を抑制することができる。 - 特許庁
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