phase shifting interferometryとは 意味・読み方・使い方

As enlarging a measuring range by two-wavelength phase-shifting interferometry, it is therefore possible to reduce the effects of errors due to fringe order errors in its arithmetic processes and maintain original high accuracy in phase-shift interferometry.例文帳に追加

このため、２波長位相シフト干渉法により計測レンジを拡大しつつ、その演算過程における縞次数誤りによる誤差の影響を少なくし、位相シフト干渉法本来の高い精度を維持することができる。 - 特許庁

To provide a surface shape measuring method capable of long-range measurement by improving measurement accuracy in two-wavelength phase-shifting interferometry and only slightly improving a conventional phase-shift optical system.例文帳に追加

２波長位相シフト干渉法の計測精度を改善し、従来の位相シフト光学系のわずかな改良で長レンジの計測を可能とする表面形状測定方法を提供する。 - 特許庁

In the surface shape measuring method, an error distribution contained in fringe order computation is estimated in the determination of fringe order of each position in two-wavelength phase-shifting interferometry (Step S21-S24), and the fringe order is determined by subtracting specified errors from the error distribution (Step S25 and S26).例文帳に追加

本発明の表面形状測定方法によれば、２波長位相シフト干渉法における各位置の縞次数の決定において、縞次数の計算に含まれる誤差分布が推定され（ステップＳ２１〜Ｓ２４）、その誤差分布から特定した誤差を差し引いて縞次数が求められる（ステップＳ２５，Ｓ２６）。 - 特許庁

To provide an image pickup device that can more easily adjust the shifting of a diffraction grating and a screen grid in Talbot interferometry than by conventional practices and enables stripe scanning to be accomplished while restraining blurring of phase images due to variations in the direction of incidence of light coming incident on an object of examination.例文帳に追加

トールボット干渉法において、従来よりも回折格子及び遮蔽格子の移動の調整が容易で、かつ被検体に対して入射する光の入射方向の変化による位相像のぼけを抑制して縞走査法を行うことができる撮像装置を提供すること。 - 特許庁