plasma diffusionとは 意味・読み方・使い方

The gas diffusion plate 7 can be provided, being isolated from the plasma confinement electrode plate 5.例文帳に追加

ガス拡散板７は、プラズマ閉込電極板５から離隔させて設けることができる。 - 特許庁

A diffusion suppressing means 12 is provided extending from the jetting port 21b in the jetting direction so as to suppress the diffusion of the plasma jet.例文帳に追加

拡散抑制手段１２がプラズマジェットの拡散を抑制するよう噴射口２１ｂから噴射方向に伸びて設けられている。 - 特許庁

To retain the quality of an article to be treated at a constant by preventing an influence relating to plasma treatment on the article to be treated before plasma treatment or on the article to be treated after plasma treatment by preventing diffusion of the plasma produced by the plasma treatment, a charged particle and dust in a plasma treatment device.例文帳に追加

プラズマ処理装置において、プラズマ処理によって生成されるプラズマ、荷電粒子、およびダストなどの拡散を防止することで、プラズマ処理前の被処理物あるいはプラズマ処理後の被処理物へのプラズマ処理に係る影響を防止し、被処理物の品質を一定に保つようにする。 - 特許庁

Using an SiN film deposited by plasma CVD is employed as a passivation film for diffusion, zinc is diffused from an opening to form a diffusion area.例文帳に追加

プラズマＣＶＤによるＳｉＮ膜を拡散用のパシベーション膜として用い、開口部より亜鉛を拡散して拡散領域を形成した。 - 特許庁

To improve oxygen plasma resistance, mechanical strength, heat diffusion efficiency, hygroscopicity/moisture permeability, heat resistance and barrier effects with respect to impurity diffusion.例文帳に追加

酸素プラズマ耐性、力学的強度、熱拡散効率、吸湿性・透湿性、耐熱性、不純物拡散に対するバリア効果を向上させること。 - 特許庁

To provide a plasma generating device that allows uniform diffusion of radicals, and to provide a cleaning/purifying device, and a small electric appliance, using the plasma generating device.例文帳に追加

ラジカルを均一に拡散させることのできるプラズマ発生装置、当該プラズマ発生装置を用いた洗浄浄化装置および小型電器機器を得る。 - 特許庁

By inserting the dielectrics 7, impediment of plasma diffusion caused by a recess of the microwave introduction window is prevented, resulting in generation of uniform plasma.例文帳に追加

誘電体７を挿入することによって、マイクロ波導入窓の窪みによるプラズマ拡散の阻害を失くし、均一なプラズマを生成することができる。 - 特許庁

To provide a technique to form an excellent diffusion barrier film on Cu wiring by plasma CVD method.例文帳に追加

プラズマＣＶＤ法を用いてＣｕ配線上に良好な拡散バリア膜を形成する技術を提供する。 - 特許庁