precleanとは 意味・読み方・使い方

A method of depositing a metal film on a substrate includes a supercritical preclean step, a supercritical desorb step, and a metal deposition step.例文帳に追加

金属膜を基材上に堆積させる方法は、超臨界プレクリーンステップ、超臨界脱着ステップ、および金属堆積ステップを含む。 - 特許庁

Preferably, the preclean step includes maintaining by bringing supercritical carbon dioxide and a chelating agent into contact with the substrate in order to remove an oxide layer from a metal surface of the substrate.例文帳に追加

好ましくは、プレクリーンステップは、基材の金属表面から酸化物層を除去するために超臨界二酸化炭素およびキレート化剤を基材と接触して維持することを含む。 - 特許庁