residual film methodとは 意味・読み方・使い方

METHOD OF DECIDING RESIDUAL FILM THICKNESS IN POLISHING PROCESS AND METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加

研磨工程の残存膜厚判定方法および半導体装置の製造方法 - 特許庁

To provide a method of forming a semiconductor thin film which can suppress a sudden bumping of residual hydrogen, and to provide a method of manufacturing a thin film transistor using this semiconductor thin film.例文帳に追加

残留水素の突沸を抑制可能な半導体薄膜の形成方法及びこれを用いた薄膜トランジスタの製造方法を提供する。 - 特許庁

METHOD AND APPARATUS FOR DEPOSITING LOW RESIDUAL HALOGEN CONTENT TiN FILM WITH THICKNESS EXCEEDING 1,000 ANGSTROM例文帳に追加

１０００Åを超える厚さの低残留ハロゲン含有ＴｉＮ膜を堆積する方法及び装置 - 特許庁

RESIDUAL FILM MONITORING DEVICE, POLISHING DEVICE, SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD AND SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加

残膜モニタ装置、研磨装置、半導体デバイス製造方法及び半導体デバイス - 特許庁

To provide a pattern transfer method capable of performing residual film removal processing without performing etching.例文帳に追加

エッチングを行わずに残膜除去処理を行うことが可能なパターン転写方法を提供する。 - 特許庁

LIQUID AND METHOD OF REMOVING RESIDUAL POLYMER AND RESIST OF LOW-K FILM例文帳に追加

Ｌｏｗ−ｋ膜残渣ポリマー及びレジストの除去液及び除去方法 - 特許庁

The method enables a resin film 2 to undergo heat treatment to remove its residual stress.例文帳に追加

樹脂フィルム２の残留応力を取り除くように樹脂フィルム２を熱処理する方法。 - 特許庁

To provide a manufacturing method for a dielectric thin film which enhances a residual dielectric polarization.例文帳に追加

残留分極値を向上させた誘電体薄膜の作製方法を提供する。 - 特許庁