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To provide a substrate processing apparatus that also fixes the evacuation rate to a root exhaust pipe although the pressures in an antiscatter cup and a chamber surrounding the cup are fixed.例文帳に追加
飛散防止カップおよび飛散防止カップを包囲するチャンバ内の圧力が一定でありながら、大元の排気管への排気量をも一定とする基板処理装置を提供することを目的とする。 - 特許庁
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