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same zapとは 意味・読み方・使い方
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Moreover, the same is fed by a prescribed amount or more with a prescribed slope from an exclusive zap gas introducing nozzle to the substrate face in order to prevent the fine particles from resticking to the substrate face.例文帳に追加
また、専用のザップガス導入ノズルから基板面に所定の傾きで所定量以上供給し、微粒子が基板面に付着することを防止する。 - 特許庁
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