space charge effectsとは 意味・読み方・使い方

MAPPING TYPE ELECTRON MICROSCOPE REDUCING GEOMETRICAL ABERRATIONS AND SPACE-CHARGE EFFECTS例文帳に追加

幾何収差と空間電荷効果を低減した写像型電子顕微鏡 - 特許庁

To provide an ion beam drawing acceleration method and a device with diffusion (loss) due to space charge effects alleviated, while ion beams drawn out of ion sources enter an acceleration/focusing region by a beam acceleration electrode.例文帳に追加

イオン源から引き出したイオンビームがビーム加速電極による加速・集束領域に入射するまでの間に、空間電荷効果によって拡散（損失）することを軽減したイオンビーム引出加速方法及び装置の提供。 - 特許庁

To provide an ion implantation device that suppresses the occurrence of energy contamination while enhancing ion beam transport efficiency by compensating divergence in the Y-direction of an ion beam due to space charge effects or the like.例文帳に追加

イオンビームの空間電荷効果等によるＹ方向の発散を補償して、イオンビームの輸送効率を高めることができ、しかもエネルギーコンタミネーションの発生を抑制することができるイオン注入装置を提供する。 - 特許庁

To suppress the spread of ion beams due to space charge effects by effectively confining electrons between the magnetic poles of a magnet which deflects, converges or diverges the ion beams.例文帳に追加

イオンビームを偏向、収束又は発散させる磁石の磁極間に効率良く電子を閉じ込め、空間電荷効果によるイオンビームの広がりを抑制する。 - 特許庁