space-charge effectとは 意味・読み方・使い方

To provide electron beam transfer equipment which can reduce defocusing due to space charge effect and can form a pattern with higher accuracy and high throughput.例文帳に追加

空間電荷効果によるボケを低減でき、より高精度・高スループットでパターン形成できる電子ビーム転写装置を提供する。 - 特許庁

To provide an electron beam transfer device which is capable of providing an extensive unit exposure area even when the emittance of an electron gun is relatively low, and reducing a harmful effect caused by the space charge effect.例文帳に追加

電子銃のエミッタンスが比較的低くても単位露光領域を広くできるとともに、空間電荷効果による弊害を低減できる電子線転写装置を提供する。 - 特許庁

To correct the change in the space charge effect of the image forming system of a charged particle beam projection exposure device caused by the change of a transmitted beam current.例文帳に追加

透過ビーム電流が変化するため生じる荷電粒子線投影露光装置の結像系の空間電荷効果の変化を補正する。 - 特許庁

To provide an ion source for improving the transportation effect of an ion beam by inhibiting the space-charge effect of the ion beam drawn by the drawing electrode system and divergence of the ion beam.例文帳に追加

引出し電極系から引き出されるイオンビームの空間電荷効果を抑制して、イオンビームの発散を抑制し、ひいてはイオンビームの輸送効率を向上させることのできるイオン源を提供する。 - 特許庁

To provide a charge beam writing device, a pattern writing method and a memory medium which enables superior writing performance by reducing a color aberration and lessening the influence of a space charge effect by using charged beams of low acceleration.例文帳に追加

低加速の荷電ビームを用いて色収差が小さく空間電荷効果の影響が少なく描画性能に優れた荷電ビーム描画装置およびパターン描画方法並びに記録媒体を提供する。 - 特許庁

The electron beams 16 have an energy of several times of the final established value until they pass through the electron-optical system 19, thereby dispersion action by space charge effect is reduced.例文帳に追加

電子ビーム１６は電子光学系１９を通過するまで最終設定値の数倍のエネルギを有しており、空間電荷効果による発散作用が低減する。 - 特許庁

To provide a static deflector of an ion planter in which the instability of uniformity of an ion injection is solved that is incurred with or without space electric charge effect principally by a simple constitution.例文帳に追加

主として、簡単な構成で空間電荷効果の有無によるイオン注入の均一性の不安定さを解消したイオン注入装置の静電偏向器を提供する。 - 特許庁

To provide an electrostatic lens capable of suppressing reduction of electrons in a drift space and as a result, suppressing dispersion of ion beams due to space charge effect even in the case an intermediate electrode is kept in positive potential.例文帳に追加

中間電極が正電位に保たれるものであっても、ドリフト空間での電子量の減少の抑制、ひいてはイオンビームの空間電荷効果による発散の抑制を行うことができる電界レンズを提供する。 - 特許庁