「space-charge effect」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

Square-sum (total blurring) of blurring (chain line) by space charge effect and blurring (broken line) by geometric aberration is shown by a solid line.例文帳に追加

空間電荷効果によるボケ（一点鎖線）と幾何収差によるボケ（破線）との二乗和（トータルのボケ）が実線で示されている。 - 特許庁

To transport an ion beam efficiently to a target by suppressing spread of the ion beam due to space charge effect in a beam deflector.例文帳に追加

ビーム偏向器内部での空間電荷効果によるイオンビームの広がりを抑制し、イオンビームを効率良くターゲットに輸送する。 - 特許庁

To provide electron beam transfer equipment which can reduce defocusing due to space charge effect and can form a pattern with higher accuracy and high throughput.例文帳に追加

空間電荷効果によるボケを低減でき、より高精度・高スループットでパターン形成できる電子ビーム転写装置を提供する。 - 特許庁

To provide an electron beam transfer device which is capable of providing an extensive unit exposure area even when the emittance of an electron gun is relatively low, and reducing a harmful effect caused by the space charge effect.例文帳に追加

電子銃のエミッタンスが比較的低くても単位露光領域を広くできるとともに、空間電荷効果による弊害を低減できる電子線転写装置を提供する。 - 特許庁

To correct the change in the space charge effect of the image forming system of a charged particle beam projection exposure device caused by the change of a transmitted beam current.例文帳に追加

透過ビーム電流が変化するため生じる荷電粒子線投影露光装置の結像系の空間電荷効果の変化を補正する。 - 特許庁

To provide an ion source for improving the transportation effect of an ion beam by inhibiting the space-charge effect of the ion beam drawn by the drawing electrode system and divergence of the ion beam.例文帳に追加

引出し電極系から引き出されるイオンビームの空間電荷効果を抑制して、イオンビームの発散を抑制し、ひいてはイオンビームの輸送効率を向上させることのできるイオン源を提供する。 - 特許庁

To provide a charge beam writing device, a pattern writing method and a memory medium which enables superior writing performance by reducing a color aberration and lessening the influence of a space charge effect by using charged beams of low acceleration.例文帳に追加

低加速の荷電ビームを用いて色収差が小さく空間電荷効果の影響が少なく描画性能に優れた荷電ビーム描画装置およびパターン描画方法並びに記録媒体を提供する。 - 特許庁

The electron beams 16 have an energy of several times of the final established value until they pass through the electron-optical system 19, thereby dispersion action by space charge effect is reduced.例文帳に追加

電子ビーム１６は電子光学系１９を通過するまで最終設定値の数倍のエネルギを有しており、空間電荷効果による発散作用が低減する。 - 特許庁

To provide a static deflector of an ion planter in which the instability of uniformity of an ion injection is solved that is incurred with or without space electric charge effect principally by a simple constitution.例文帳に追加

主として、簡単な構成で空間電荷効果の有無によるイオン注入の均一性の不安定さを解消したイオン注入装置の静電偏向器を提供する。 - 特許庁

To provide an electrostatic lens capable of suppressing reduction of electrons in a drift space and as a result, suppressing dispersion of ion beams due to space charge effect even in the case an intermediate electrode is kept in positive potential.例文帳に追加

中間電極が正電位に保たれるものであっても、ドリフト空間での電子量の減少の抑制、ひいてはイオンビームの空間電荷効果による発散の抑制を行うことができる電界レンズを提供する。 - 特許庁

To provide a high frequency accelerator equipment for capturing efficiently an ion beam of strong and low energy in which space charge effect is a problem, by a ring-shaped accelerator, and for accelerating the beam stably.例文帳に追加

空間電荷効果が問題となる大強度で低エネルギーのイオンビームを環状型加速器で効率良く捕獲し安定に加速するための高周波加速装置を提供する。 - 特許庁

To provide a direct-current power cable comprising a conductor, an internal semiconductive layer, an insulating layer and an external semiconductive layer and having good space charge reducing effect.例文帳に追加

本発明は、導体、内部半導電層、絶縁層及び外部半導電層を含み、良好な空間電荷低減効果を有する直流用電力ケーブルの提供を目的とする。 - 特許庁

To provide an ultraviolet cut-off sheet, and its manufacturing method, wherein an ultraviolet cut-off effect is high, diseases owing to ultraviolet rays are prevented, and a negative charge is efficiently supplied to space.例文帳に追加

紫外線遮断効果が高く、紫外線による疾病を予防し、負電荷が空間に効率良く供給される紫外線遮断シート及びその製造方法を提供する。 - 特許庁

The direct-current power cable, as a final product, has not only an excellent effect in physical properties such as volume resistivity and hot set which are required for a power cable but also increased volume resistivity and excellent space charge reducing effect.例文帳に追加

最終的に製造された直流用電力ケーブルは、電力ケーブルに求められる体積比抵抗、ホットセットなどの物性において優れた効果を奏するだけでなく、上昇した体積比抵抗と優れた空間電荷低減効果とを有する。 - 特許庁

To provide an electron beam apparatus capable of lessening blooming of secondary electron due to a space charge effect of primary electron and lessening axial chromatic aberration or other aberration, as well as a manufacturing method of a device using the apparatus.例文帳に追加

一次電子の空間電荷効果による二次電子のボケの発生を少なくでき、軸上色収差や諸収差を少なくできる電子線装置及び該装置を用いるデバイスの製造方法の提供。 - 特許庁

To provide a mapping type electron microscope in where a projection imaging optical system is provided with a zooming transfer lens system for improving the geometrical aberrations in low-magnification imaging and space-charge effect in the zooming range.例文帳に追加

投影結像光学系にズーム型トランスファー・レンズ系を用いて、低倍結像の幾何収差とズーム範囲での空間電荷効果とを改善する写像型電子顕微鏡を提供すること。 - 特許庁

To provide an inline type electron gun reducing the spot diameter of an electron beam focused on a screen surface of a color picture tube by restricting the space charge effect near an electron beam generating part.例文帳に追加

電子ビーム発生部の近傍の空間電荷効果を抑制し、カラー受像管のスクリーン面に集束される電子ビームのスポット径を小さくすることができるインライン型電子銃を提供する。 - 特許庁

By introducing trace small amount of gas into the casing of the column 10 and a chamber 8, the level of vacuum is lowered to suppress the variance of the diameters of electronic beams, due to space charge effect.例文帳に追加

電子ビーム近接露光装置のカラム１０及びチャンバ８の筐体内に、微量のガスを導入することにより真空度を低下させて、空間電荷効果による電子ビーム径の分散を抑制する。 - 特許庁

Furthermore, widening of the electron beam due to a space-charge effect of the primary electron beam is reduced by anions generated by the collision of the primary electron beam with the gas introduced from the sample chamber, and so accurate irradiation is possible.例文帳に追加

さらに一次電子線と試料室から入射した気体との衝突で発生した正イオンによって、一次電子線の空間電荷効果による電子線の拡がりが低減されており、正確な照射が可能となる。 - 特許庁

Then, the coating deposition efficiency is improved by setting the voltage higher and the decrease of the coating deposition efficiency caused by the space charge effect, the inverse ionization and the electrostatic repulsion is prevented because the pulse voltage is applied.例文帳に追加

したがって、電圧値を高く設定することにより塗着効率を向上させることができ、また、パルス電圧を印加しているので空間電荷効果、逆電離、静電反発に起因する塗着効率の低下を防止できる。 - 特許庁

To satisfy focusing conditions for a primary electron beam and a secondary electron beam at the same time, facilitate axis-taking of lenses, minimize space charge effect, and decrease memory capacity accumulating images of objects for inspection.例文帳に追加

一次電子線と二次電子線とに同時にレンズの合焦条件を満足させることができ、レンズの軸合わせが容易で、空間電荷効果を最小に制限し、被検査対象の画像を蓄積するメモリ容量を小さくすること - 特許庁

To improve coating deposition efficiency by hardly causing a spark even if voltage applied between a coater and a work is set higher and preventing the generation of space charge effect causing the decrease of the coating deposition efficiency, inverse ionization, and electrostatic repulsion.例文帳に追加

塗布機及びワークの間に印加する電圧値を高く設定してもスパークが生じ難くし、また、塗着効率低下の原因となる空間電荷効果、逆電離、静電反発を起こさせないようにして塗着効率を向上させる。 - 特許庁

To provide a method for generating a charged particle beam such as an electron beam, etc. for focusing the electron beam by suppressing the diffusion of the electron beam due to a space charge effect even when an electron density in the electron beam is increased and even when an exposure speed is accelerated, and to provide a charged particle beam device.例文帳に追加

電子ビーム中の電子密度を増加させても露光速度を上げても、空間電荷効果による電子ビームの拡散を抑制して電子ビームを集束させる電子ビーム等の荷電粒子線の発生方法および荷電粒子線装置を提供する。 - 特許庁

To provide a filtration type dust collecting device using static electricity capable of collecting dust with a low filtration pressure loss and at a high filtration velocity by an effect of pressuring into a filtration filter with an ion wind generated by forming an electric field of the same or higher level than a corona starting level in a clean space side after the filtration with the filtration filter and by supplying a stable electric charge from the clean space side.例文帳に追加

本発明は静電気を利用した濾過式集塵装置において濾過フィルターによる濾過後の清浄空間側にコロナ始発レベル以上の電界を形成し生成イオン風による濾過フィルターへの押しこみ効果及び清浄空間側からの安定した電荷供給により低濾過圧損、高い濾過速度による集塵を可能とした装置に関するものである。 - 特許庁

To provide an electron beam exposure control method and system for use in a low-acceleration electron beam lithography system using electrostatic lenses, wherein shot beam shapes are drawn as varied as desired, drawing beam currents and convergence semiangles on the specimen surface are selected at the shot level, and an electrooptical system is provided for reducing resolution degradation due to the space charge effect.例文帳に追加

静電レンズを使用した低加速電子ビーム描画装置において、ショットビーム形状が任意に変えられる可変成形ビーム描画の機能と、描画時のビーム電流と試料面収束半角をショットレベルで選択できる機能と、空間電荷効果による解像性低下の影響を低減できる電子光学系を具えた電子ビーム露光制御方法とその装置を提供すること。 - 特許庁