space formationとは 意味・読み方・使い方

The heater cover 6 forms at least a part of a closed space formation member forming the closed space 11.例文帳に追加

ヒータカバー６は、閉空間１１を形成する閉空間形成部材の少なくとも一部となる。 - 特許庁

During the film formation, a non-film formation gas which does not contribute to the film formation is introduced from a non-film formation gas introduction tube 111 arranged in a space surrounded by the gaseous starting material introduction tubes 106.例文帳に追加

成膜中、原料ガス導入管106によって囲まれる空間内に配置された非成膜ガス導入管111から、成膜に寄与しない非成膜ガスを導入する。 - 特許庁

The normal pressure plasma treatment space 1a is formed between the upper and the lower electrode units 10, 20 (treatment space formation).例文帳に追加

上下の電極ユニット１０，２０（処理空間形成）の間に常圧のプラズマ処理空間１ａを形成する。 - 特許庁

The thin film forming apparatus includes: a film formation container in which a film formation space in a pressure-reduced state is formed; a material gas supply unit which supplies material gas to the film formation space; and a plasma generating element which generates plasma in the film formation space supplied with the material gas using an electromagnetic wave.例文帳に追加

薄膜形成装置は、減圧状態の成膜空間を形成する成膜容器と、前記成膜空間に原料ガスを供給する原料ガス供給部と、前記原料ガスが供給された前記成膜空間で、電磁波を用いてプラズマを生成させるプラズマ生成素子と、を有する。 - 特許庁

A thin film formation device has a decompression vessel for forming and maintaining a decompressed film formation space, a raw gas supply unit for supplying a raw gas to the film formation space of the decompression vessel, and a purge gas supply pipe for supplying a purge gas to the film formation space of the decompression vessel.例文帳に追加

薄膜形成装置は、減圧した成膜空間を形成し維持する減圧容器と、前記減圧容器の前記成膜空間に原料ガスを供給する、原料ガス供給ユニットと、前記減圧容器の前記成膜空間にパージガスを供給する、パージガス供給管と、を有する。 - 特許庁

The integral formation of the resonance chamber 23 in the lower section of the lower case 18 saves space.例文帳に追加

共鳴室23をロワケース18の下部に一体に形成して省スペース化を図る。 - 特許庁

A solid dielectric 50 is installed on a discharge space formation face of an electrode 30.例文帳に追加

電極３０の放電空間形成面に固体誘電体５０を設ける。 - 特許庁

MEMBER FOR CONTROLLING SPACE FOR CONCRETE FORM AND AUXILIARY MEMBER FOR WATER DRAIN HOLE FORMATION例文帳に追加

コンクリート型枠用間隔規制部材及び水抜き孔形成用補助部材 - 特許庁