spin freezingとは 意味・読み方・使い方

Drying time can be further shortened by freezing the spin-dried Mozuku seaweed M4 before drying this.例文帳に追加

また、脱水生モズクＭ４を冷凍させてから乾燥することでさらに乾燥時間を短縮することができる。 - 特許庁

The substrate subjected to freezing processing is conveyed by the substrate conveying mechanism 3 from the spin processing unit 2 to the cleaning processing unit 1, and is dipped into a processing liquid in the processing chamber.例文帳に追加

そして、凍結処理された基板は、基板搬送機構３によりスピン処理ユニット２から洗浄処理ユニット１に搬送され、処理槽内の処理液中に浸漬される。 - 特許庁

A cooling gas jet nozzle 3 for jetting a cooling gas against a substrate W, held on a spin base 23 and having a liquid film formed on the surface is scanned, thereby freezing the liquid film to remove the particles etc.例文帳に追加

スピンベース２３上に保持され、表面に液膜を形成されて回転する基板Ｗに対し、冷却ガスを吐出する冷却ガス吐出ノズル３をスキャンすることにより液膜を凍結させてパーティクル等を除去する。 - 特許庁

In a spin processing unit 2, the thickness of the water film on the substrate surface is adjusted by rotation of the substrate, the volume of the water film increases by freezing the water film, the adhesion force between the particles adhering on the substrate surface and the substrate is weakened, and further, the particles are separated from the substrate surface.例文帳に追加

スピン処理ユニット２にて、基板が回転されることで基板表面の水膜の厚みが調整された後、水膜が凍結されることで水膜の体積が膨張し、基板表面に付着する粒子と基板との間の付着力が弱まり、さらには粒子が基板表面から脱離する。 - 特許庁