stepwise growthとは 意味・読み方・使い方

The epitaxial layer 17 is filled within the trench 16 by supplying a silane gas as a raw gas within the trench 16 of the semiconductor wafer 10 having the trench structure, and by stepwise lowering a temperature of from 400 to 1,150°C by the vapor-phase growth to grow the epitaxial layer 17.例文帳に追加

トレンチ構造を有する半導体ウェーハ１０のトレンチ１６内部に、原料ガスとしてシランガスを供給しながら、気相成長法により４００〜１１５０℃の温度範囲で段階的に温度を下げて、エピタキシャル層１７を成長させることにより、トレンチ１６内部にエピタキシャル層１７を充填する。 - 特許庁

Since, based on the means of stepwise controlling the vapor in a molecular or atomic state, a film is formed according to the mechanism of surface-nucleation, condensation and growth, a film having superior evenness, nano-scale adjustability, specialized structure and function that can not be achieved by the films from conventional spray coating and ink jet means can be obtained.例文帳に追加

蒸気を原子或いは分子状態で段階的制御を行う手段に基づき、蒸着対象基材の表面にて核生成、凝結、及び核生成、成長させるメカニズムにより薄膜を形成するため、伝統的な塗布及びインクジェット技術では得られなかった均等性、ナノサイズのコントロール特性等を備える特殊構造及び機能性を有する薄膜を獲得できる。 - 特許庁