supercritical drying methodとは 意味・読み方・使い方

SUPERCRITICAL DRYING METHOD OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE例文帳に追加

半導体基板の超臨界乾燥方法 - 特許庁

METHOD AND APPARATUS FOR SUPERCRITICAL DRYING例文帳に追加

超臨界乾燥方法および超臨界乾燥装置 - 特許庁

To provide a supercritical drying method and a supercritical drying device that can efficiently and reliably achieve supercritical drying using supercritical carbon dioxide.例文帳に追加

効率良く且つ確実に超臨界二酸化炭素を用いた超臨界乾燥を行うことが可能な超臨界乾燥方法および超臨界乾燥装置を提供すること。 - 特許庁

SUPERCRITICAL DRYING METHOD AND APPARATUS OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE例文帳に追加

半導体基板の超臨界乾燥方法及び装置 - 特許庁

METHOD FOR FORMING ANTICLOUDING COATING FILM BY DRYING TREATMENT UNDER SUPERCRITICAL CONDITIONS例文帳に追加

超臨界条件下乾燥処理による防曇性コーティング膜の形成方法 - 特許庁

To provide a method for supercritical drying by which pressure reductions can be performed more quickly without causing the deformation of patterns, and so on, after a supercritical state is set.例文帳に追加

超臨界状態とした後、パターンの変形などを起こすことなく、より迅速に減圧できるようにする。 - 特許庁

To provide a supercritical drying method to reduce particles generated on a wafer.例文帳に追加

ウェーハ上に生じるパーティクルを低減する超臨界乾燥方法を提供する。 - 特許庁

METHOD OF DEPOSITING METAL FILM AND METAL DEPOSITION CLUSTER TOOL INCLUDING SUPERCRITICAL DRYING/CLEANING MODULE例文帳に追加

金属膜堆積方法および超臨界乾燥／クリーニングモジュールを含む金属堆積クラスタツール - 特許庁