| 例文 |
supercritical drying methodの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 36件
SUPERCRITICAL DRYING METHOD AND SUPERCRITICAL DRYING DEVICE FOR THIN-FILM STRUCTURE例文帳に追加
薄膜構造体の超臨界乾燥法及び超臨界乾燥装置 - 特許庁
SUPERCRITICAL DRYING METHOD OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE例文帳に追加
半導体基板の超臨界乾燥方法 - 特許庁
SUPERCRITICAL DRYING METHOD AND APPARATUS OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE例文帳に追加
半導体基板の超臨界乾燥方法及び装置 - 特許庁
METHOD FOR FORMING ANTICLOUDING COATING FILM BY DRYING TREATMENT UNDER SUPERCRITICAL CONDITIONS例文帳に追加
超臨界条件下乾燥処理による防曇性コーティング膜の形成方法 - 特許庁
To provide a method for supercritical drying by which pressure reductions can be performed more quickly without causing the deformation of patterns, and so on, after a supercritical state is set.例文帳に追加
超臨界状態とした後、パターンの変形などを起こすことなく、より迅速に減圧できるようにする。 - 特許庁
To provide a supercritical drying method to reduce particles generated on a wafer.例文帳に追加
ウェーハ上に生じるパーティクルを低減する超臨界乾燥方法を提供する。 - 特許庁
METHOD OF DEPOSITING METAL FILM AND METAL DEPOSITION CLUSTER TOOL INCLUDING SUPERCRITICAL DRYING/CLEANING MODULE例文帳に追加
金属膜堆積方法および超臨界乾燥/クリーニングモジュールを含む金属堆積クラスタツール - 特許庁
SUBSTRATE DRYING APPARATUS USING SUPERCRITICAL FLUID, SUBSTRATE TREATMENT APPARATUS PROVIDED WITH THE SAME, AND SUBSTRATE TREATMENT METHOD例文帳に追加
超臨界流体を用いる基板乾燥装置及びこれを備える基板処理設備並びに基板処理方法 - 特許庁
To provide a supercritical drying method of a semiconductor substrate capable of reducing particles generated on the semiconductor substrate and preventing electric characteristics of a semiconductor device from deteriorating.例文帳に追加
半導体基板上に生じるパーティクルを低減すると共に、半導体デバイスの電気的特性の劣化を防止する。 - 特許庁
When forming the low refractive index layer 3 among those laminated layers, moist gel is dried by a supercritical drying method after being applied on the base 2.例文帳に追加
そして、これら積層した層のうち低屈折率層3を形成する際、湿潤ゲルは基板2上に塗布された後、超臨界乾燥法によって乾燥される。 - 特許庁
To provide a method for reforming a solid in a supercritical medium which facilitates reforms such as change of size and crystal form, dewatering, desolventing and drying of the solid materials of pharmaceuticals, and even enables creation of a new solid state, by making use of the characteristics of the supercritical medium.例文帳に追加
超臨界流体のもつ特徴を生かし、医薬品の固体物質のサイズや結晶形態の変更、脱水、脱溶剤、乾燥等の改質を容易とし、新しい固体状態の創製をも可能とする、超臨界媒体中での固体改質方法を提供する。 - 特許庁
In the method for manufacturing a porous gel for the material for removing the harmful chemical substances, a silica wet gel is impregnated with a titanium compound solution and then dried by using a drying medium at the critical point or supercritical state of the drying medium to produce crystalline titania on the silica framework.例文帳に追加
シリカの湿潤ゲル体にチタン化合物溶液を含浸させ、次いで乾燥媒体を用いて、乾燥媒体の臨界点ないし超臨界において、乾燥することにより、結晶性のチタニアをシリカ骨格上に生成させる有害化学物質除去材用多孔質ゲルの製造方法。 - 特許庁
A supercritical drying method or a reduced pressure freeze-drying method is used to prevent a gel solid skeleton from shrinking when the wet polyamide gel is dried to remove the solvent to manufacture the polyamide porous material so that the porous material having a small pore diameter and a low density can be manufactured.例文帳に追加
そのポリアミド多孔体を製造する方法として、ポリアミド湿潤ゲルから溶媒を除去して乾燥する際に、ゲルの固体骨格の収縮を抑制するために超臨界乾燥または凍結による減圧乾燥を用いることによって、細孔径が小さく密度の低い多孔体を製造できるようになった。 - 特許庁
The method further comprises the steps of then holding the patterned resist film 11A in a supercritical fluid 17, thereby replacing the liquid 14 adhered to the patterned film 11A by the fluid 17, and drying the film.例文帳に追加
次に、パターン化されたレジスト膜11Aを超臨界流体17中で保持することにより、パターン化されたレジスト膜11Aに付着しているリンス液14を超臨界流体17と置換して乾燥させる。 - 特許庁
As a means for achieving the above problem, the method for producing polymer particulates comprises mixing a collected polymer with a fluid to be used as a supercritical fluid and a solvent, causing the fluid to be in a supercritical state, maintaining the resultant in the supercritical state for a predetermined time, removing the fluid by decompression, collecting a liquid that remains thereafter, and then drying the liquid.例文帳に追加
上記課題を解決するための手段としては、回収したポリマーに対して超臨界流体となる流体および溶媒を混合させた後、前記流体を超臨界状態とし、超臨界状態で所定時間保持した後、減圧することにより、前記流体を除去し、その後残留する液体を回収し、前記液体を乾燥させてなることを特徴とするポリマー微粒子創製方法である。 - 特許庁
This method for producing processed dried yolk is characterized by comprising the following steps: extruding, using fresh water as a binder, dried yolk obtained by spray-drying treatment, granulating the thus extruded dried yolk followed by subjecting the granulated resultant to decholesterolization using supercritical carbon dioxide to make the thus treated resultant into fine powder having a particle diameter of 10-100 μm.例文帳に追加
スプレードライして得られる乾燥卵黄を清水のバインダーを用いて押出し造粒した後、これを超臨界二酸化炭素で脱コレステロール処理し、粒径が10〜100μmの微粉末にすることを特徴とする。 - 特許庁
The drying method in the drying device 1 includes: a process of adding water and a surface active agent to a fiber structure 100; a second process of immersing the fiber structure 100 in carbon dioxide in the liquid state or the supercritical state after the first process; and a third process of evaporating carbon dioxide in the liquid state or the supercritical state in which the fiber structure 100 is immersed in the second process.例文帳に追加
乾燥装置1における乾燥方法は、繊維構造体100に水と界面活性剤とを加える第1の行程と、第1の行程の後に、繊維構造体100を液体状態または超臨界状態の二酸化炭素に浸漬させる第2の行程と、第2の行程において繊維構造体100を浸漬させた液体状態または超臨界状態の二酸化炭素を蒸発させる第3の行程とを行なう。 - 特許庁
The porous gel having the fine pores can be manufactured by a simple method by hydrolyzing and polymerizing an alkoxy silane to form wet gel, subjecting the wet gel to hydrophobic treatment using an alkyl alkoxy silane and then drying the resultant material in a non-supercritical condition.例文帳に追加
アルコキシシランを加水分解・重合させ湿潤ゲルを作成し、これをアルキルアルコキシシランで疎水化処理をした後、非超臨界の条件で乾燥させることにより、簡単な方法で微細な細孔を有する多孔質ゲルが製造できるのである。 - 特許庁
This method for cleaning and drying the article having the microstructures comprises a process for cleansing the article received in the treating chamber of a washing/drying device with a cleansing liquid, a process for replacing the cleansing liquid by the liquid mixture of a hydrofluoroether with 5% isopropyl alcohol or by a fluorinated alcohol as a replacing liquid, and a process for replacing the replacing liquid by supercritical carbon dioxide.例文帳に追加
本方法は、洗浄/乾燥装置の処理室内に収容した、微小構造を有する被処理体を洗浄液で洗浄する工程と、ハイドロフルオロエーテルと5%のイソプロピルアルコールの混合液、又はフッ化アルコール単体を置換液とし、洗浄液を置換液で置換する工程と、置換液を超臨界二酸化炭素で置換する工程とを有する。 - 特許庁
The cleaning method of a filter for filtering carbon dioxide in a gas, a liquid or a supercritical state used at least either for cleaning or for drying a body to be treated includes cleaning of a filter 13 by circulating carbon dioxide to the filter 13 before filtering carbon dioxide in a gas, a liquid or a supercritical state at the filter 13.例文帳に追加
被処理体の洗浄または乾燥の少なくともいずれかに用いられる気体、液体または超臨界状態の二酸化炭素をろ過するためのフィルターの清浄化方法は、フィルター13で気体、液体または超臨界状態の二酸化炭素をろ過する前に、フィルター13に二酸化炭素を流通させることによってフィルター13を清浄化することを含んでいる。 - 特許庁
In the method for producing the porous body a homogenous polymerization solution comprising (a) a vinyl monomer of 3-60 mass%, (b) an organic solvent of 1-80 mass% and (c) a liquefied carbon dioxide or a supercritical carbon dioxide of 96-10 mass% is polymerized in the presence of a radical polymerization initiator and the resulting polymer solution is subjected to a supercritical drying.例文帳に追加
(a)ビニル系モノマー3〜60質量%、(b)有機溶媒1〜80質量%および(c)液化二酸化炭素もしくは超臨界二酸化炭素96〜10質量%からなる均一な重合溶液をラジカル重合開始剤の存在下で重合させた後、得られたポリマー溶液を超臨界乾燥することを特徴とするビニル系架橋樹脂多孔質体の製造方法。 - 特許庁
This method for producing the silica aerogel comprises hydrolyzing an alkoxysilane, polymerizing the resultant substance to give a gelatinous compound, reacting the gelatinous compound with the fluoroalkylsilane compound in a liquid-phase dispersion medium to carry out fluorination treatment and removing the dispersion medium contained in the gelatinous compound by supercritical drying.例文帳に追加
その製造方法は、アルコキシシランを加水分解し、重合して得られたゲル状化合物を液相分散媒中で、フルオロアルキルシラン化合物と反応させてフッ素処理を施した後に、該ゲル状化合物が含む分散媒を超臨界乾燥によって除去する。 - 特許庁
The method for manufacturing a resin porous product having a void ratio of at least 50% comprises substituting a solvent in a wet gel with liquefied carbon dioxide so that the content of the solvent in carbon dioxide is 1 mass% or less at the time of the end of the substitution, bringing about a supercritical state, subsequently removing the solvent by depressurization, and drying.例文帳に追加
湿潤ゲル中の溶媒を、置換終了時に二酸化炭素に含まれる溶媒が1質量%以下になるまで液化二酸化炭素で置換した後、超臨界状態を経て放圧により除去して乾燥することを特徴とする空隙率が50%以上の樹脂多孔質体の製造方法。 - 特許庁
In the manufacturing method of the porous membrane containing a process removing low molecular weight substances from the porous membrane containing the low molecular weight substances after the membrane is manufactured, the low molecular weight substances are dissolved and washed with a washing solvent, the remaining washing solvent is dissolved and substituted with liquified gas or supercritical gas, and then drying under reduced pressure is conducted.例文帳に追加
製膜後に低分子量物を含有する多孔質膜から、低分子量物を除去する工程を含む多孔質膜の製造方法において、前記低分子量物を洗浄溶剤にて溶解洗浄した後、残存する洗浄溶剤を液化ガス又は超臨界ガスで溶解置換してから、減圧して乾燥させることを特徴とする。 - 特許庁
A manufacturing method of a solid electrolytic capacitor comprises: a first step of preparing a valve action metal substrate 11 in which an oxide film 13 is formed on a surface; a second step of forming an undried conductive polymer film on a surface of the oxide film 13; and a third step of forming a conductive polymer film 15 by drying the undried conductive polymer film in a supercritical fluid 108.例文帳に追加
酸化皮膜13が表面に形成されている弁作用金属基体11を準備する第1の工程と、酸化皮膜13の表面に未乾燥導電性高分子膜を形成する第2の工程と、未乾燥導電性高分子膜を超臨界流体108中で乾燥して導電性高分子膜15を形成する第3の工程とを備える。 - 特許庁
In the method for manufacturing a seamless belt for electrophotographic device by applying a coating liquid containing a resin component to the inner surface or outer surface of a cylindrical die, followed by drying and/or curing to thereby form a film, and demolding the film, the formed film is treated with supercritical fluid or subcritical fluid together with the cylindrical die, and then demolded.例文帳に追加
円筒状の型の内面又は外面に樹脂成分を含む塗工液を塗布し、それを乾燥及び/又は硬化させることにより製膜化し、これを脱型する電子写真装置用シームレスベルトの製造方法であって、前記製膜された膜を前記円筒状の型と共に超臨界流体または亜臨界流体で処理し、脱型することを特徴とする電子写真装置用シームレスベルトの製造方法。 - 特許庁
The method of separation and recovery of lipids in the membrane material of fat globules from whey comprises a filtration process in which whey containing the membrane material of fat globules is filtered using a precision filtering membrane to obtain a cake, a drying process in which the cake is dried to obtain a powder and an extraction process in which the powder is subjected to extraction treatment with supercritical carbon dioxide.例文帳に追加
ホエイから脂肪球皮膜物質中の脂質を分離回収する方法であって、脂肪球皮膜物質を含むホエイを、精密ろ過膜を用いてろ過し、非透過部を得るろ過工程と、該非透過部を乾燥して粉体を得る乾燥工程と、該粉体を、超臨界二酸化炭素で抽出処理する抽出工程とを有することを特徴とする脂肪球皮膜物質中の脂質の分離回収方法。 - 特許庁
A method of preparing an improved catalyst is comprised of a step of forming a precursor by mixing a chemical compound which contains a component of the catalyst and at least one kind of solvent; a step of forming the precursor which is extracted and processed by a supercritical flow and the extraction step includes drying the precursor, atomizing the precursor and these combinations; and a step of forming the catalyst by baking the processed precursor.例文帳に追加
触媒の成分を含有する化合物と、少なくとも1種類の溶媒とを混合して前駆体を形成するステップ;前駆体を超臨界流で抽出して処理された前駆体を形成するステップであって、その抽出ステップが、前駆体の乾燥、前駆体の霧化、およびそれらの組み合わせを含むステップ;処理された前駆体を焼成して触媒を形成するステップ:を含む、改良された触媒の調製方法を含む。 - 特許庁
| 例文 |
| Copyright © Japan Patent office. All Rights Reserved. |
|
ログイン |
Weblio会員(無料)になると
|
|
ログイン |
Weblio会員(無料)になると
|