surface templateとは 意味・読み方・使い方

The template 4 is adhered to the holding surface of the urethane sheet 2.例文帳に追加

テンプレート４は、ウレタンシート２の保持面に貼付されている。 - 特許庁

To provide a template which realizes a pattern forming method with high productivity; a surface treatment method for the template; a surface treatment apparatus for the template; and the pattern forming method.例文帳に追加

生産性の高いパターン形成方法を実現するテンプレート、テンプレートの表面処理方法、テンプレートの表面処理装置及びパターン形成方法を提供する。 - 特許庁

The template surface treatment method used for imprint lithography includes a step of making a surface of a template 300 silyl in a state that the template 300 is heated.例文帳に追加

インプリントリソグラフィに用いるテンプレートの表面処理方法であって、テンプレート３００を加熱した状態でテンプレート３００の表面をシリル化する工程を備える。 - 特許庁

To improve the throughput of template processing while forming a film of a mold releasing agent suitably on the surface of the template.例文帳に追加

テンプレートの表面に離型剤を適切に成膜しつつ、テンプレート処理のスループットを向上させる。 - 特許庁

To improve the throughput of template processing while properly forming a film of a releasing agent on the surface of a template.例文帳に追加

テンプレートの表面に離型剤を適切に成膜しつつ、テンプレート処理のスループットを向上させる。 - 特許庁

To form a release layer with a high evenness on a template surface.例文帳に追加

均一性の高い離型層をテンプレート表面に形成する。 - 特許庁

To efficiently remove a release film formed on a surface of a template and to efficiently wash the surface of the template.例文帳に追加

テンプレートの表面に成膜された離型膜を効率よく除去して、当該テンプレートの表面を効率よく洗浄する。 - 特許庁

In the processing station 200, a release agent film is formed on the surface of the template T, and the surface of the template T is cleaned.例文帳に追加

処理ステーション２００では、テンプレートＴの表面に離型剤を成膜すると共に、テンプレートＴの表面を洗浄する。 - 特許庁