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「wafer process control system」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 4件
The integrating apparatus includes a plurality of processing modules that process a wafer, a negative pressure transfer device and a positive pressure transfer device which transfer the wafer to the plurality of processing modules, and a control system which controls them.例文帳に追加
インテグレート装置はウエハを処理する複数の処理モジュールと、ウエハを複数の処理モジュールに搬送する負圧移載装置および正圧移載装置と、これらを制御する制御システムとを備えている。 - 特許庁
This system includes a tool 11, a computer 12 connected thereto, an endpoint detection control unit a data base, and a supervisor for monitoring the step and the overall wafer process.例文帳に追加
このシステムはツールおよびそれに接続されたコンピュータと、終点検出制御装置と、データベースと、当該ステップとウエハ処理全体を監視するスーパーバイザとを含む。 - 特許庁
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