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"方程式解法"を含む例文一覧と使い方
該当件数 : 3件
ウエハ温度シミュレーション装置は、素子部被覆率計算部32と、実効放射率計算部33と、モデル作成部34と、熱拡散方程式解法部35とを具備する。例文帳に追加
The device for simulating wafer temperature includes: an element part coverage calculation part 32; an effective emissivity calculation part 33; a model creation part 34 and a thermal diffusion equation solution part 35. - 特許庁
熱拡散方程式解法部35は、モデルに基づき、ランプ加熱工程でのウエハ表面の過渡熱拡散を計算しウエハの温度分布を算出する。例文帳に追加
The thermal diffusion equation solution part 35 calculates the temperature distribution of the wafer by calculating transitional thermal diffusion of the wafer surface in a lamp heating step based on the model. - 特許庁
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