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ローダタイプを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
既設のシングルローダタイプの処理装置のフットプリントを増やすことなく、ロードポートを増設してデュアルローダタイプの処理装置に変更することができ、しかも既設の自動搬送ラインを利用してウエハ搬送の完全自動化を実現することができる処理装置を提供する。例文帳に追加
To provide a processing apparatus capable of modifying an existing processing apparatus having a single loading port to one having dual loading ports by providing an additional loading port, without having to increase the foot print thereof, and also capable of realizing complete automation of a wafer transfer by utilizing an existing automatic transfer line. - 特許庁
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