ALIGNERを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 2856件
ALIGNER, CHEMICAL FILTER, AND MANUFACTURING METHOD OF DEVICE例文帳に追加
露光装置及びケミカルフィルタ並びにデバイスの製造方法 - 特許庁
SUBSTRATE TRANSFER METHOD, SUBSTRATE TRANSFER DEVICE AND ALIGNER例文帳に追加
基板搬送方法、基板搬送装置及び露光装置 - 特許庁
SCANNING PROJECTION ALIGNER AND POSITIONING METHOD THEREOF例文帳に追加
走査型投影露光装置及びその位置合わせ方法 - 特許庁
PARAMETER-CONTROL DEVICE, PROJECTION ALIGNER, DEVICE MANUFACTURING METHOD, SEMICONDUCTOR MANUFACTURING FACTORY, AND MAINTENANCE METHOD OF THE PROJECTION ALIGNER例文帳に追加
パラメータ管理装置、露光装置、デバイス製造方法、半導体製造工場および露光装置の保守方法 - 特許庁
POSITIONING APPARATUS AND SEMICONDUCTOR ALIGNER USING THE SAME例文帳に追加
位置決め装置及びこれを用いた半導体露光装置 - 特許庁
ALIGNER FOR FORMING PHOSPHOR SCREEN OF COLOR CATHODE RAY TUBE例文帳に追加
カラー陰極線管の蛍光面形成用露光装置 - 特許庁
ALIGNER, ITS CONTROL METHOD AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
露光装置及びその制御方法、デバイス製造方法 - 特許庁
ALIGNER, ITS CONTROLLING METHOD, AND SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
露光装置及びその管理方法及び半導体装置 - 特許庁
PHOTOMASK, ALIGNER, ALIGNING METHOD AND METHOD FOR PRODUCING DEVICE例文帳に追加
フォトマスク、露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 - 特許庁
PROJECTION ALIGNER OF MICRO LITHOGRAPHY FOR λ<200 nm例文帳に追加
λ<200nm用のマイクロリソグラフィの投影露光装置 - 特許庁
STRUCTURE, SEMICONDUCTOR ALIGNER AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
構造物、半導体露光装置およびデバイス製造方法 - 特許庁
PERIPHERAL ALIGNER AND SUBSTRATE PROCESSING DEVICE例文帳に追加
周辺露光装置およびそれを備えた基板処理装置 - 特許庁
PROJECTION ALIGNER AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
投影露光装置および半導体装置の製造方法 - 特許庁
METHOD OF EXPOSURE, ALIGNER, METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, SEMICONDUCTOR PLANT, AND METHOD OF MAINTAINING THE ALIGNER例文帳に追加
露光方法、露光装置、半導体デバイス製造方法、半導体製造工場、および露光装置の保守方法 - 特許庁
ILLUMINATION DEVICE, PROJECTION ALIGNER AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
照明装置、投影露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁
ALIGNER AND EXPOSURE METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 - 特許庁
ALIGNER, IMAGING PERFORMANCE MEASURING METHOD, DEVICE MANUFACTURING METHOD, SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PLANT, AND MAINTAINING METHOD FOR THE ALIGNER例文帳に追加
露光装置、結像性能測定方法、デバイス製造方法、半導体製造工場および露光装置の保守方法 - 特許庁
OPTICAL ELEMENT, METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME AND ALIGNER例文帳に追加
光学素子の製造方法、光学素子、及び露光装置 - 特許庁
PROJECTION ALIGNER AND INSPECTION METHOD THEREOF例文帳に追加
投影露光装置及び投影露光装置の検査方法 - 特許庁
OPTICAL PERFORMANCE INSTRUMENTATION METHOD AND EQUIPMENT, AND ALIGNER例文帳に追加
光学性能計測方法及び装置、並びに露光装置 - 特許庁
PROJECTIVE ALIGNER AND METHOD, AND MANUFACTURE OF ELEMENT例文帳に追加
投影露光装置及び方法、並びに素子製造方法 - 特許庁
LASER OSCILLATION APPARATUS, ALIGNER AND MANUFACTURE OF DEVICE例文帳に追加
レーザ発振装置、露光装置及びデバイスの製造方法 - 特許庁
PROJECTION ALIGNER AND METHOD FOR CONTROLLING PLURAL LIGHT SOURCES例文帳に追加
投影露光装置及び複数光源の制御方法 - 特許庁
METHOD OF MANUFACTURING PROJECTION ALIGNER AND METHOD OF MANUFACTURING MICRO DEVICE BY USING PROJECTION ALIGNER MANUFACTURED BY THIS METHOD例文帳に追加
投影露光装置の製造方法及びこの方法により製造された装置によるマイクロデバイスの製造方法 - 特許庁
ALIGNER, EXPOSURE CONTROL METHOD, AND SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
露光装置及び露光制御方法及び半導体装置 - 特許庁
EXPOSING METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE AND ALIGNER例文帳に追加
半導体装置製造用露光方法及び露光装置 - 特許庁
EUV ALIGNER AND METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
EUV露光装置及び半導体デバイスの作製方法 - 特許庁
PROJECTION ALIGNER, RETICLE USED IN PROJECTION ALIGNER, PROJECTION EXPOSURE METHOD AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
投影露光装置、投影露光装置に使用されるレチクル、投影露光方法及び半導体デバイス製造方法 - 特許庁
PROJECTION ALIGNER AND METHOD FOR FORMING SEMICONDUCTOR ELEMENT例文帳に追加
投影露光装置及び半導体素子の形成方法 - 特許庁
LASER OSCILLATOR, ALIGNER, METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PLANT, AND MAINTENANCE METHOD OF ALIGNER例文帳に追加
レーザ発振装置、露光装置、半導体デバイス製造方法、半導体製造工場、および、露光装置の保守方法 - 特許庁
STAGE DEVICE, ALIGNER, METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PLANT, AND MAINTENANCE METHOD FOR THE ALIGNER例文帳に追加
ステージ装置、露光装置、半導体デバイス製造方法、半導体製造工場、および露光装置の保守方法 - 特許庁
LINEAR MOTOR, STAGE APPARATUS, ALIGNER AND MANUFACTURE OF DEVICE例文帳に追加
リニアモータ、ステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法 - 特許庁
EXPOSURE METHOD AND ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
露光方法及び露光装置、並びにデバイス製造方法 - 特許庁
PROJECTION OPTICAL SYSTEM, ALIGNER AND MANUFACTURING METHOD OF DEVICE例文帳に追加
投影光学系及び露光装置、デバイスの製造方法 - 特許庁
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