ALIGNERを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 2856件
METHOD FOR MANUFACTURING ALIGNER LIGHT SOURCE UNIT, ALIGNER, EXPOSURE METHOD AND ADJUSTING METHOD FOR SAME例文帳に追加
露光装置の製造方法、光源ユニット、露光装置、露光方法及び露光装置の調整方法 - 特許庁
PROJECTION ALIGNER AND METHOD OF MEASURING ABERRATION例文帳に追加
投影露光装置及び収差の計測方法 - 特許庁
ALIGNER AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
露光装置及び半導体装置の製造方法 - 特許庁
DISTORTION DETECTING MECHANISM FOR REFLECTION TYPE PROJECTION ALIGNER例文帳に追加
反射投影露光装置の歪み検出機構 - 特許庁
IMAGE ALIGNER AND IMAGE PROCESSOR例文帳に追加
画像の位置合わせ装置および画像処理装置 - 特許庁
DRIVE CONTROL DEVICE AND METHOD, AND ALIGNER例文帳に追加
駆動制御装置及び方法及び露光装置 - 特許庁
ALIGNER, EXPOSURE SYSTEM, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
露光装置、露光システム及びデバイス製造方法 - 特許庁
POSITION DETECTION DEVICE, ALIGNER AND EXPOSURE METHOD例文帳に追加
位置検出装置、露光装置及び露光方法 - 特許庁
ALIGNER, ALIGNER MANUFACTURING METHOD, WAVE FRONT ABERRATION MEASURING APPARATUS AND MICRODEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
露光装置、露光装置の製造方法、波面収差計測装置及びマイクロデバイスの製造方法 - 特許庁
ALIGNER AND METHOD FOR MANUFACTURING LAYERED SUBSTRATE例文帳に追加
露光装置および積層基板の製造方法 - 特許庁
X-RAY MULTILAYER MIRROR AND X-RAY ALIGNER例文帳に追加
X線多層ミラーおよびX線露光装置 - 特許庁
ELECTRON BEAM PROXIMITY ALIGNING METHOD AND ALIGNER例文帳に追加
電子ビーム近接露光方法及び露光装置 - 特許庁
STAGE DEVICE, ALIGNER AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
ステージ装置、露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁
VACUUM CHAMBER AND PROJECTION ALIGNER HAVING THE VACUUM CHAMBER例文帳に追加
真空チャンバー及びそれを有する露光装置 - 特許庁
REFLECTION/REFRACTION OPTICAL SYSTEM AND PROJECTION ALIGNER例文帳に追加
反射屈折光学系及び投影露光装置 - 特許庁
SEMICONDUCTOR TEST SYSTEM AND SEMICONDUCTOR ALIGNER例文帳に追加
半導体検査装置及び半導体露光装置 - 特許庁
ALIGNER AND COOLING METHOD OF SUBSTRATE CHUCK例文帳に追加
露光装置、および基板チャックの冷却方法 - 特許庁
CHARGED PARTICLE BEAM ALIGNER AND EXPOSING METHOD例文帳に追加
荷電粒子ビーム露光装置及び露光方法 - 特許庁
WAVE FRONT ABERRATION MEASURING DEVICE AND PROJECTION ALIGNER例文帳に追加
波面収差測定機及び投影露光装置 - 特許庁
ADJUSTMENT METHOD FOR REDUCTION PROJECTION ALIGNER例文帳に追加
縮小投影型露光装置の調整方法 - 特許庁
PROJECTION EXPOSURE METHOD AND PROJECTION ALIGNER例文帳に追加
投影露光方法およびその投影露光装置 - 特許庁
HOLDING APPARATUS, ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
保持装置、露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁
REFLECTION MASK, MANUFACTURING METHOD THEREOF AND ALIGNER例文帳に追加
反射マスクとその製造方法及び露光装置 - 特許庁
SPHERICAL ABERRATION MEASURING METHOD AND PROJECTION ALIGNER例文帳に追加
波面収差測定方法及び投影露光装置 - 特許庁
EXPOSURE METHOD, DEVICE MANUFACTURING METHOD AND ALIGNER例文帳に追加
露光方法、デバイス製造方法および露光装置 - 特許庁
OPTICAL PART, ITS MANUFACTURING METHOD AND ALIGNER例文帳に追加
光学部品とその製造方法及び露光装置 - 特許庁
REFERENCE MARK BODY AND ALIGNER HAVING THE SAME例文帳に追加
基準マーク体及びそれを有する露光装置 - 特許庁
To obtain a high-accuracy high-throughput projection aligner.例文帳に追加
高精度・高スループットな投影露光装置を得る。 - 特許庁
ALIGNER AND EXPOSURE METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
露光装置及び露光方法、デバイス製造方法 - 特許庁
COOLING DEVICE, ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
冷却装置、露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁
EXPOSURE METHOD, ALIGNER AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
露光方法及び露光装置、デバイス製造方法 - 特許庁
EXPOSURE METHOD, ALIGNER AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR例文帳に追加
露光方法及び露光装置、デバイス製造方法 - 特許庁
ALIGNER AND MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
露光装置および半導体装置の製造方法 - 特許庁
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