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ALIGNERを含む例文一覧と使い方

該当件数 : 2856



例文

STAGE APPARATUS AND ITS DRIVING METHOD, AND ALIGNER例文帳に追加

ステージ装置及びその駆動方法、並びに露光装置 - 特許庁

VISUAL FIELD STOP PROJECTION OPTICAL SYSTEM AND PROJECTION ALIGNER例文帳に追加

視野絞り投影光学系及び投影露光装置 - 特許庁

ALIGNMENT DEVICE, ALIGNER AND MANUFACTURING METHOD THEREOF例文帳に追加

位置合わせ装置、露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁

ALIGNER, EXPOSURE METHOD, AND MANUFACTURING METHOD OF DEVICE例文帳に追加

露光装置、露光方法およびデバイスの製造方法 - 特許庁

例文

SUBSTRATE-HOLDING MEMBER, ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

基板保持部材、露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁


例文

EXPOSURE METHOD AND ALIGNER, AND MANUFACTURE OF DEVICE例文帳に追加

露光方法および装置、ならびにデバイス製造方法 - 特許庁

ALIGNER, ADJUSTMENT METHOD, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加

露光装置、調整方法及びデバイスの製造方法 - 特許庁

The substrate is led into the aligner (step T2).例文帳に追加

その基板が露光装置に導入される(ステップT2)。 - 特許庁

POLARIZER, PROJECTION LENS SYSTEM, ALIGNER, AND EXPOSURE METHOD例文帳に追加

偏光子、投影レンズ系、露光装置及び露光方法 - 特許庁

例文

ALIGNER USING ELECTRON BEAM AND PROCESSING DEVICE USING THE ELECTRON BEAM例文帳に追加

電子ビーム露光装置及び電子ビーム処理装置 - 特許庁

例文

ILLUMINATION DEFLECTION SYSTEM IN ELECTRON BEAM ALIGNER例文帳に追加

電子線露光装置における偏向照明光学系 - 特許庁

ALIGNER AND EDGE CLAMP DETECTING METHOD USING THE SAME例文帳に追加

アライナおよびそれを用いたエッジクランプ検出方法 - 特許庁

ALIGNER USING I RAY AND CORRECTION METHOD FOR IT例文帳に追加

i線を用いる露光装置およびその補正方法 - 特許庁

ELECTROSTATIC LENS, ALIGNER, AND PROCESS FOR FABRICATING DEVICE例文帳に追加

静電レンズ装置、露光装置、及びデバイス製造方法 - 特許庁

MAINTENANCE SYSTEM, MAINTENANCE METHOD, ALIGNER AND STORAGE MEDIUM例文帳に追加

保守システム、保守方法、露光装置及び記憶媒体 - 特許庁

ALIGNER AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE USING IT例文帳に追加

露光装置及びそれを用いたデバイスの製造方法 - 特許庁

POSITION DETECTING METHOD, POSITIONING METHOD AND ALIGNER例文帳に追加

位置検出方法、位置合わせ方法及び露光装置 - 特許庁

MIRROR HOLDING DEVICE, ALIGNER, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加

ミラー保持装置、露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁

ALIGNER AND METHOD AND SYSTEM FOR TREATING SUBSTRATE例文帳に追加

露光装置、基板処理方法及び基板処理システム - 特許庁

ALIGNER AND DEVICE MANUFACTURING USING THE SAME例文帳に追加

露光装置、及び該装置を用いるデバイス製造方法 - 特許庁

DESIGN METHOD FOR MASK FILTER, THE MASK FILTER, AND ALIGNER例文帳に追加

マスクフィルタの設計方法、マスクフィルタ、及び露光装置 - 特許庁

PROJECTION ALIGNER, METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE AND SENSOR UNIT例文帳に追加

投影露光装置、デバイス製造方法及びセンサユニット - 特許庁

ALIGNER, EXPOSURE METHOD AND MANUFACTURING METHOD OF DEVICE例文帳に追加

露光装置、露光方法、およびデバイスの製造方法 - 特許庁

ALIGNER, SCANNING EXPOSURE METHOD, AND STAGE DEVICE例文帳に追加

露光装置及び走査露光方法、並びにステージ装置 - 特許庁

SUBSTRATE HOLDING DEVICE, ALIGNER AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加

基板保持装置、露光装置、及びデバイス製造方法 - 特許庁

CHARGED PARTICLE BEAM ALIGNER AND MANUFACTURE OF DEVICE例文帳に追加

荷電粒子線露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁

OPTICAL MEMBER HOLDING DEVICE, OPTICAL UNIT AND ALIGNER例文帳に追加

光学部材保持装置、光学ユニット及び露光装置 - 特許庁

MASK, MEASURING METHOD FOR VALID OPTICAL PATH AND ALIGNER例文帳に追加

マスク、有効光路の測定方法、及び露光装置 - 特許庁

To provide an aligner improving throughput.例文帳に追加

スループットを向上することできるアライナを提供する。 - 特許庁

LIGHT SOURCE DEVICE, ALIGNER AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加

光源装置、露光装置、並びにデバイス製造方法 - 特許庁

OPTIMIZING METHOD OF APERTURE SHAPE OF PROJECTION ALIGNER例文帳に追加

投影露光装置のアパーチャ形状の最適化方法 - 特許庁

EXPOSURE METHOD AND ALIGNER, AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加

露光方法及び装置、並びにデバイス製造方法 - 特許庁

TEMPERATURE CONTROL METHOD, TEMPERATURE-REGULATED CHAMBER, AND PROJECTION ALIGNER例文帳に追加

温度制御方法、温調チャンバ及び露光装置 - 特許庁

CHARGED BEAM ALIGNER AND CHARGED BEAM CONTROL METHOD例文帳に追加

荷電ビーム露光装置および荷電ビーム制御方法 - 特許庁

POSITION MEASUREMENT METHOD, POSITION MEASUREMENT SYSTEM, AND ALIGNER例文帳に追加

位置測定方法、位置測定システム及び露光装置 - 特許庁

POSITION MEASURING DEVICE, POSITION MEASURING METHOD AND ALIGNER例文帳に追加

位置計測装置、位置計測方法及び露光装置 - 特許庁

ALIGNER FOR TOTAL REFLECTION LOCAL FLUORESCENT X-RAY ANALYSIS例文帳に追加

全反射局所蛍光X線分析用アライナー - 特許庁

POSITIONING APPARATUS, ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

位置決め装置、露光装置、及びデバイスの製造方法 - 特許庁

ILLUMINATING APPARATUS AND PROJECTION ALIGNER USING THE APPARATUS例文帳に追加

照明装置及びそれを用いた投影露光装置 - 特許庁

ALIGNER, METHOD OF ALIGNMENT AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

露光装置、アライメント方法、及び、デバイスの製造方法 - 特許庁

POSITIONING DEVICE, ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

位置決め装置、露光装置、並びにデバイス製造方法 - 特許庁

ALIGNER, SYSTEM THEREOF AND MANUFACTURE OF DEVICE例文帳に追加

露光装置、露光装置システムおよびデバイス製造方法 - 特許庁

CONTROL SYSTEM AND METHOD OF SEMICONDUCTOR PROJECTION ALIGNER例文帳に追加

半導体露光装置の管理システム及び管理方法 - 特許庁

MIRROR MOUNTING STRUCTURE, PROJECTION OPTICAL SYSTEM, AND ALIGNER例文帳に追加

ミラー取付構造、投影光学系および露光装置 - 特許庁

METHOD FOR MANUFACTURING PROJECTION OPTICAL SYSTEM, PROJECTION OPTICAL SYSTEM, METHOD FOR MANUFACTURING ALIGNER, ALIGNER, AND EXPOSING METHOD例文帳に追加

投影光学系の製造方法、投影光学系、露光装置の製造方法、露光装置、および露光方法 - 特許庁

PROJECTION OPTICAL SYSTEM, PROJECTION ALIGNER PROVIDED WITH THE PROJECTION OPTICAL SYSTEM, AND MANUFACTURING METHOD OF DEVICE USING THE PROJECTION ALIGNER例文帳に追加

投影光学系,該投影光学系を備えた露光装置,及び該露光装置を用いたデバイスの製造方法 - 特許庁

LASER OSCILLATING DEVICE AND ALIGNER AND MANUFACTURE OF DEVICE例文帳に追加

レーザ発振装置、露光装置及びデバイスの製造方法 - 特許庁

PROJECTION ALIGNER, EXPOSURE METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

投影露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 - 特許庁

ALIGNER, ITS METHOD, AND SUBSTRATE PROCESSING EQUIPMENT例文帳に追加

露光装置およびその方法ならびに基板処理装置 - 特許庁

例文

METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING FLATNESS, AND ALIGNER例文帳に追加

平坦度計測方法及びその装置、並びに露光装置 - 特許庁




  
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