ALIGNERを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 2856件
VISUAL FIELD STOP PROJECTION OPTICAL SYSTEM AND PROJECTION ALIGNER例文帳に追加
視野絞り投影光学系及び投影露光装置 - 特許庁
ALIGNMENT DEVICE, ALIGNER AND MANUFACTURING METHOD THEREOF例文帳に追加
位置合わせ装置、露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁
SUBSTRATE-HOLDING MEMBER, ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
基板保持部材、露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁
ALIGNER, ADJUSTMENT METHOD, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
露光装置、調整方法及びデバイスの製造方法 - 特許庁
ALIGNER USING ELECTRON BEAM AND PROCESSING DEVICE USING THE ELECTRON BEAM例文帳に追加
電子ビーム露光装置及び電子ビーム処理装置 - 特許庁
ILLUMINATION DEFLECTION SYSTEM IN ELECTRON BEAM ALIGNER例文帳に追加
電子線露光装置における偏向照明光学系 - 特許庁
ELECTROSTATIC LENS, ALIGNER, AND PROCESS FOR FABRICATING DEVICE例文帳に追加
静電レンズ装置、露光装置、及びデバイス製造方法 - 特許庁
MAINTENANCE SYSTEM, MAINTENANCE METHOD, ALIGNER AND STORAGE MEDIUM例文帳に追加
保守システム、保守方法、露光装置及び記憶媒体 - 特許庁
MIRROR HOLDING DEVICE, ALIGNER, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
ミラー保持装置、露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁
ALIGNER AND DEVICE MANUFACTURING USING THE SAME例文帳に追加
露光装置、及び該装置を用いるデバイス製造方法 - 特許庁
PROJECTION ALIGNER, METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE AND SENSOR UNIT例文帳に追加
投影露光装置、デバイス製造方法及びセンサユニット - 特許庁
SUBSTRATE HOLDING DEVICE, ALIGNER AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
基板保持装置、露光装置、及びデバイス製造方法 - 特許庁
CHARGED PARTICLE BEAM ALIGNER AND MANUFACTURE OF DEVICE例文帳に追加
荷電粒子線露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁
OPTICAL MEMBER HOLDING DEVICE, OPTICAL UNIT AND ALIGNER例文帳に追加
光学部材保持装置、光学ユニット及び露光装置 - 特許庁
MASK, MEASURING METHOD FOR VALID OPTICAL PATH AND ALIGNER例文帳に追加
マスク、有効光路の測定方法、及び露光装置 - 特許庁
LIGHT SOURCE DEVICE, ALIGNER AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
光源装置、露光装置、並びにデバイス製造方法 - 特許庁
OPTIMIZING METHOD OF APERTURE SHAPE OF PROJECTION ALIGNER例文帳に追加
投影露光装置のアパーチャ形状の最適化方法 - 特許庁
TEMPERATURE CONTROL METHOD, TEMPERATURE-REGULATED CHAMBER, AND PROJECTION ALIGNER例文帳に追加
温度制御方法、温調チャンバ及び露光装置 - 特許庁
POSITION MEASUREMENT METHOD, POSITION MEASUREMENT SYSTEM, AND ALIGNER例文帳に追加
位置測定方法、位置測定システム及び露光装置 - 特許庁
POSITION MEASURING DEVICE, POSITION MEASURING METHOD AND ALIGNER例文帳に追加
位置計測装置、位置計測方法及び露光装置 - 特許庁
ALIGNER FOR TOTAL REFLECTION LOCAL FLUORESCENT X-RAY ANALYSIS例文帳に追加
全反射局所蛍光X線分析用アライナー - 特許庁
POSITIONING APPARATUS, ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
位置決め装置、露光装置、及びデバイスの製造方法 - 特許庁
ILLUMINATING APPARATUS AND PROJECTION ALIGNER USING THE APPARATUS例文帳に追加
照明装置及びそれを用いた投影露光装置 - 特許庁
POSITIONING DEVICE, ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
位置決め装置、露光装置、並びにデバイス製造方法 - 特許庁
CONTROL SYSTEM AND METHOD OF SEMICONDUCTOR PROJECTION ALIGNER例文帳に追加
半導体露光装置の管理システム及び管理方法 - 特許庁
MIRROR MOUNTING STRUCTURE, PROJECTION OPTICAL SYSTEM, AND ALIGNER例文帳に追加
ミラー取付構造、投影光学系および露光装置 - 特許庁
METHOD FOR MANUFACTURING PROJECTION OPTICAL SYSTEM, PROJECTION OPTICAL SYSTEM, METHOD FOR MANUFACTURING ALIGNER, ALIGNER, AND EXPOSING METHOD例文帳に追加
投影光学系の製造方法、投影光学系、露光装置の製造方法、露光装置、および露光方法 - 特許庁
PROJECTION OPTICAL SYSTEM, PROJECTION ALIGNER PROVIDED WITH THE PROJECTION OPTICAL SYSTEM, AND MANUFACTURING METHOD OF DEVICE USING THE PROJECTION ALIGNER例文帳に追加
投影光学系,該投影光学系を備えた露光装置,及び該露光装置を用いたデバイスの製造方法 - 特許庁
LASER OSCILLATING DEVICE AND ALIGNER AND MANUFACTURE OF DEVICE例文帳に追加
レーザ発振装置、露光装置及びデバイスの製造方法 - 特許庁
PROJECTION ALIGNER, EXPOSURE METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
投影露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 - 特許庁
ALIGNER, ITS METHOD, AND SUBSTRATE PROCESSING EQUIPMENT例文帳に追加
露光装置およびその方法ならびに基板処理装置 - 特許庁
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