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ALIGNERを含む例文一覧と使い方

該当件数 : 2856



例文

PROJECTION ALIGNER, POSITION MEASURING METHOD, AND PROJECTION EXPOSURE METHOD例文帳に追加

投影露光装置、位置測定方法及び投影露光方法 - 特許庁

CHARGED PARTICLE BEAM ALIGNER AND METHOD FOR MEASURING EXPOSURE DIMENSIONS例文帳に追加

荷電粒子線露光装置及び露光寸法測定方法 - 特許庁

ALIGNER AND ITS METHOD, AND MANUFACTURING METHOD FOR MICRODEVICE例文帳に追加

露光装置及び方法並びにマイクロデバイスの製造方法 - 特許庁

SUBSTRATE HOLDING DEVICE AND ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

基板保持装置及び露光装置、並びにデバイス製造方法 - 特許庁

例文

CATADIOPTRIC PROJECTION OPTICAL SYSTEM, ALIGNER, AND EXPOSURE METHOD例文帳に追加

反射屈折投影光学系、露光装置及び露光方法 - 特許庁


例文

REFLECTION MIRROR DEVICE, ALIGNER, AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加

反射ミラー装置及び露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁

GAS EXCHANGE APPARATUS, ALIGNER AND METHOD FOR MANUFACTURING ELECTRONIC DEVICE例文帳に追加

ガス置換装置、露光装置及び電子デバイスの製造方法 - 特許庁

SEMICONDUCTOR WAFER PATTERN EXPOSING METHOD AND PATTERN ALIGNER例文帳に追加

半導体ウエハのパターン露光方法およびパターン露光装置 - 特許庁

ALIGNER, EXPOSURE METHOD, AND METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加

露光装置、露光方法及び半導体デバイスの製造方法 - 特許庁

例文

ELECTRON BEAM ALIGNER AND RESIDUAL ATTRACTION FORCE REDUCING METHOD例文帳に追加

電子ビーム露光装置及び残留吸着力緩和方法 - 特許庁

例文

MANUFACTURE OF LITHOGRAPHY SYSTEM, ALIGNER AND SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加

リソグラフィシステム、露光装置、及び半導体デバイス製造方法 - 特許庁

PROJECTION ALIGNER WITH REFLECTION REFRACTION PROJECTION OPTICAL SYSTEM例文帳に追加

反射屈折型投影光学系を備える投影露光装置 - 特許庁

AUTOMATIC ALIGNMENT METHOD FOR SEMICONDUCTOR WAFER ON ALIGNER例文帳に追加

露光装置における半導体ウェハーの自動位置合わせ方法 - 特許庁

MASK MAKING APPARATUS AND ALIGNER FOR MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加

マスク作成装置、及び半導体デバイス製造用露光装置 - 特許庁

SCANNING PROJECTION ALIGNER, AND METHOD OF MANUFACTURING MICRO DEVICE例文帳に追加

走査型投影露光装置及びマイクロデバイスの製造方法 - 特許庁

METHOD FOR ALIGNING MASK AND WORK, AND PROJECTION ALIGNER例文帳に追加

マスクとワークとの位置合わせ方法、および投影露光装置 - 特許庁

RECIPE CREATING METHOD, ALIGNER, DEVICE MANUFACTURING METHOD, AND PROGRAM例文帳に追加

レシピ生成方法、露光装置、デバイス製造方法及びプログラム - 特許庁

LIQUID VOLUME-DETERMINING APPARATUS AND METHOD, AND ALIGNER例文帳に追加

液量判定装置、露光装置、および液量判定方法 - 特許庁

ALIGNER, EXPOSURE FUNCTION SETTING METHOD, AND EXPOSURE METHOD例文帳に追加

露光装置、露光量関数設定方法及び露光方法 - 特許庁

CLOSED LOOP-CONTROLLING APPARATUS, OPTICAL ELEMENT- DRIVING APPARATUS, AND ALIGNER例文帳に追加

閉ループ制御装置、光学素子駆動装置及び露光装置 - 特許庁

Then, an etching mask is formed with a double-sided aligner.例文帳に追加

そして、両面アライナーを用いてエッチングマスクを形成する。 - 特許庁

PLANE POSITION DETECTOR, PLANE POSITION DETECTING METHOD AND ALIGNER例文帳に追加

面位置検出装置、面位置検出方法及び露光装置 - 特許庁

METHOD OF SETTING FORMATION CONDITION, EXPOSURE METHOD, AND ALIGNER例文帳に追加

形成条件設定方法、露光方法及び露光装置 - 特許庁

CORRECTION METHOD FOR SPHERICAL ABERRATION OF PROJECTION LENS OF ALIGNER例文帳に追加

露光装置の投影レンズの球面収差の修正方法 - 特許庁

COOLING DEVICE, OPTICAL MEMBER HAVING IT, AND ALIGNER例文帳に追加

冷却装置、それを有する光学部材並びに露光装置 - 特許庁

MANUFACTURING METHOD FOR POSITIONING STAGE, ALIGNER, AND SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加

位置決めステージ、露光装置、半導体デバイスの製造方法 - 特許庁

ALIGNER AND METHOD OF EXPOSURE, AND MANUFACTURING METHOD OF DEVICE例文帳に追加

露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 - 特許庁

METHOD OF EXPOSURE AND ALIGNER, AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加

露光方法及び露光装置、並びにデバイス製造方法 - 特許庁

PROJECTION OPTICAL SYSTEM, PROJECTION ALIGNER, AND PROJECTION EXPOSING METHOD例文帳に追加

投影光学系、投影露光装置、及び投影露光方法 - 特許庁

MASK, METHOD FOR EXPOSURE, ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

マスク、露光方法及び露光装置、並びにデバイス製造方法 - 特許庁

OPTICAL ILLUMINATION DEVICE, ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

照明光学装置及び露光装置、デバイスの製造方法 - 特許庁

SCANNING TYPE ALIGNER, METHOD FOR SCANNING EXPOSURE AND MASK例文帳に追加

走査型露光装置および走査露光方法並びにマスク - 特許庁

SCANNING ALIGNER AND MANUFACTURE OF ELEMENT USING IT例文帳に追加

走査型露光装置、及び該装置を用いる素子製造方法 - 特許庁

LINEAR MOTOR, AND STAGE APPARATUS AND ALIGNER THEREWITH例文帳に追加

リニアモータ並びにこれを用いたステージ装置及び露光装置 - 特許庁

MEASUREMENT APPARATUS, TEST RETICLE, ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

測定装置、テストレチクル、露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁

ALIGNER, SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF例文帳に追加

露光装置、半導体製造装置およびデバイス製造方法 - 特許庁

MAGNETIC FIELD CANCELER AND CHARGED PARTICLE BEAM ALIGNER例文帳に追加

磁場キャンセラー及びそれを備える荷電粒子線露光装置 - 特許庁

OPTICAL ELEMENT, MANUFACTURING METHOD THEREOF, AND PROJECTION ALIGNER例文帳に追加

光学素子、光学素子の製造方法及び投影露光装置 - 特許庁

SURFACE TREATMENT METHOD, PLATING TREATED PART, AND ALIGNER例文帳に追加

表面処理方法およびメッキ処理部品並びに露光装置 - 特許庁

ALIGNER, EXPOSURE SYSTEM, EXPOSING METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

露光装置、露光システム、露光方法及びデバイス製造方法 - 特許庁

MASK HOLDER, STAGE DEVICE, ALIGNER, AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加

マスクホルダ、ステージ装置、露光装置、並びにデバイスの製造方法 - 特許庁

MANUFACTURING METHOD OF PROJECTION OPTICAL SYSTEM, ALIGNER AND MICRODEVICE例文帳に追加

投影光学系、露光装置、及びマイクロデバイスの製造方法 - 特許庁

SAMPLE-HOLDING DEVICE AND ALIGNER WITH THE SAMPLE- HOLDING DEVICE例文帳に追加

試料保持装置およびこの保持装置を用いた露光装置 - 特許庁

PARAMETER FILE CONTROL METHOD, ALIGNER AND MANUFACTURE THEREOF例文帳に追加

パラメータファイル管理方法、露光装置およびデバイス製造方法 - 特許庁

SEMICONDUCTOR RELAY CIRCUIT, LINEAR MOTOR, STAGE AND ALIGNER例文帳に追加

半導体リレー回路、リニアモータ装置、ステージ装置、及び露光装置 - 特許庁

STAGE DEVICE, SEMICONDUCTOR INSPECTION APPARATUS, AND SEMICONDUCTOR ALIGNER例文帳に追加

ステージ装置、半導体検査装置、及び半導体露光装置 - 特許庁

PROJECTION ALIGNER AND PROJECTION ALIGNING METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

投影露光装置および方法、並びにデバイス製造方法 - 特許庁

PUPIL FILTER, PATTERN FORMATION METHOD AND PROJECTION ALIGNER例文帳に追加

瞳フィルタ及びパターン形成方法並びに投影露光装置 - 特許庁

PROJECTION ALIGNER AND ALIGNING METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

投影露光装置及び方法、並びにデバイス製造方法 - 特許庁

例文

METHOD AND EQUIPMENT FOR TRANSFERRING SUBSTRATE AND ALIGNER例文帳に追加

基板搬送方法及び基板搬送装置並びに露光装置 - 特許庁




  
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