ALIGNERを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 2856件
PROJECTION ALIGNER, POSITION MEASURING METHOD, AND PROJECTION EXPOSURE METHOD例文帳に追加
投影露光装置、位置測定方法及び投影露光方法 - 特許庁
CHARGED PARTICLE BEAM ALIGNER AND METHOD FOR MEASURING EXPOSURE DIMENSIONS例文帳に追加
荷電粒子線露光装置及び露光寸法測定方法 - 特許庁
ALIGNER AND ITS METHOD, AND MANUFACTURING METHOD FOR MICRODEVICE例文帳に追加
露光装置及び方法並びにマイクロデバイスの製造方法 - 特許庁
SUBSTRATE HOLDING DEVICE AND ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
基板保持装置及び露光装置、並びにデバイス製造方法 - 特許庁
CATADIOPTRIC PROJECTION OPTICAL SYSTEM, ALIGNER, AND EXPOSURE METHOD例文帳に追加
反射屈折投影光学系、露光装置及び露光方法 - 特許庁
REFLECTION MIRROR DEVICE, ALIGNER, AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
反射ミラー装置及び露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁
GAS EXCHANGE APPARATUS, ALIGNER AND METHOD FOR MANUFACTURING ELECTRONIC DEVICE例文帳に追加
ガス置換装置、露光装置及び電子デバイスの製造方法 - 特許庁
SEMICONDUCTOR WAFER PATTERN EXPOSING METHOD AND PATTERN ALIGNER例文帳に追加
半導体ウエハのパターン露光方法およびパターン露光装置 - 特許庁
ALIGNER, EXPOSURE METHOD, AND METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
露光装置、露光方法及び半導体デバイスの製造方法 - 特許庁
ELECTRON BEAM ALIGNER AND RESIDUAL ATTRACTION FORCE REDUCING METHOD例文帳に追加
電子ビーム露光装置及び残留吸着力緩和方法 - 特許庁
MANUFACTURE OF LITHOGRAPHY SYSTEM, ALIGNER AND SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
リソグラフィシステム、露光装置、及び半導体デバイス製造方法 - 特許庁
PROJECTION ALIGNER WITH REFLECTION REFRACTION PROJECTION OPTICAL SYSTEM例文帳に追加
反射屈折型投影光学系を備える投影露光装置 - 特許庁
MASK MAKING APPARATUS AND ALIGNER FOR MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
マスク作成装置、及び半導体デバイス製造用露光装置 - 特許庁
SCANNING PROJECTION ALIGNER, AND METHOD OF MANUFACTURING MICRO DEVICE例文帳に追加
走査型投影露光装置及びマイクロデバイスの製造方法 - 特許庁
RECIPE CREATING METHOD, ALIGNER, DEVICE MANUFACTURING METHOD, AND PROGRAM例文帳に追加
レシピ生成方法、露光装置、デバイス製造方法及びプログラム - 特許庁
CLOSED LOOP-CONTROLLING APPARATUS, OPTICAL ELEMENT- DRIVING APPARATUS, AND ALIGNER例文帳に追加
閉ループ制御装置、光学素子駆動装置及び露光装置 - 特許庁
Then, an etching mask is formed with a double-sided aligner.例文帳に追加
そして、両面アライナーを用いてエッチングマスクを形成する。 - 特許庁
PLANE POSITION DETECTOR, PLANE POSITION DETECTING METHOD AND ALIGNER例文帳に追加
面位置検出装置、面位置検出方法及び露光装置 - 特許庁
CORRECTION METHOD FOR SPHERICAL ABERRATION OF PROJECTION LENS OF ALIGNER例文帳に追加
露光装置の投影レンズの球面収差の修正方法 - 特許庁
COOLING DEVICE, OPTICAL MEMBER HAVING IT, AND ALIGNER例文帳に追加
冷却装置、それを有する光学部材並びに露光装置 - 特許庁
MANUFACTURING METHOD FOR POSITIONING STAGE, ALIGNER, AND SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
位置決めステージ、露光装置、半導体デバイスの製造方法 - 特許庁
ALIGNER AND METHOD OF EXPOSURE, AND MANUFACTURING METHOD OF DEVICE例文帳に追加
露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 - 特許庁
METHOD OF EXPOSURE AND ALIGNER, AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
露光方法及び露光装置、並びにデバイス製造方法 - 特許庁
PROJECTION OPTICAL SYSTEM, PROJECTION ALIGNER, AND PROJECTION EXPOSING METHOD例文帳に追加
投影光学系、投影露光装置、及び投影露光方法 - 特許庁
MASK, METHOD FOR EXPOSURE, ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
マスク、露光方法及び露光装置、並びにデバイス製造方法 - 特許庁
OPTICAL ILLUMINATION DEVICE, ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
照明光学装置及び露光装置、デバイスの製造方法 - 特許庁
LINEAR MOTOR, AND STAGE APPARATUS AND ALIGNER THEREWITH例文帳に追加
リニアモータ並びにこれを用いたステージ装置及び露光装置 - 特許庁
MEASUREMENT APPARATUS, TEST RETICLE, ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
測定装置、テストレチクル、露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁
ALIGNER, SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF例文帳に追加
露光装置、半導体製造装置およびデバイス製造方法 - 特許庁
MAGNETIC FIELD CANCELER AND CHARGED PARTICLE BEAM ALIGNER例文帳に追加
磁場キャンセラー及びそれを備える荷電粒子線露光装置 - 特許庁
OPTICAL ELEMENT, MANUFACTURING METHOD THEREOF, AND PROJECTION ALIGNER例文帳に追加
光学素子、光学素子の製造方法及び投影露光装置 - 特許庁
ALIGNER, EXPOSURE SYSTEM, EXPOSING METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
露光装置、露光システム、露光方法及びデバイス製造方法 - 特許庁
MASK HOLDER, STAGE DEVICE, ALIGNER, AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
マスクホルダ、ステージ装置、露光装置、並びにデバイスの製造方法 - 特許庁
MANUFACTURING METHOD OF PROJECTION OPTICAL SYSTEM, ALIGNER AND MICRODEVICE例文帳に追加
投影光学系、露光装置、及びマイクロデバイスの製造方法 - 特許庁
SAMPLE-HOLDING DEVICE AND ALIGNER WITH THE SAMPLE- HOLDING DEVICE例文帳に追加
試料保持装置およびこの保持装置を用いた露光装置 - 特許庁
PARAMETER FILE CONTROL METHOD, ALIGNER AND MANUFACTURE THEREOF例文帳に追加
パラメータファイル管理方法、露光装置およびデバイス製造方法 - 特許庁
SEMICONDUCTOR RELAY CIRCUIT, LINEAR MOTOR, STAGE AND ALIGNER例文帳に追加
半導体リレー回路、リニアモータ装置、ステージ装置、及び露光装置 - 特許庁
STAGE DEVICE, SEMICONDUCTOR INSPECTION APPARATUS, AND SEMICONDUCTOR ALIGNER例文帳に追加
ステージ装置、半導体検査装置、及び半導体露光装置 - 特許庁
PROJECTION ALIGNER AND PROJECTION ALIGNING METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
投影露光装置および方法、並びにデバイス製造方法 - 特許庁
PUPIL FILTER, PATTERN FORMATION METHOD AND PROJECTION ALIGNER例文帳に追加
瞳フィルタ及びパターン形成方法並びに投影露光装置 - 特許庁
PROJECTION ALIGNER AND ALIGNING METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
投影露光装置及び方法、並びにデバイス製造方法 - 特許庁
METHOD AND EQUIPMENT FOR TRANSFERRING SUBSTRATE AND ALIGNER例文帳に追加
基板搬送方法及び基板搬送装置並びに露光装置 - 特許庁
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