ALIGNERを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 2856件
ALIGNER FOR EXPANDING UNIDRECTIONAL BAND WIDTH IN OPTICAL SYSTEM例文帳に追加
光学系において単方向のバンド幅を広げるための露光装置 - 特許庁
PROJECTION ALIGNER, PROJECTION EXPOSURE METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
投影露光装置及び投影露光方法、並びにデバイス製造方法 - 特許庁
PROJECTION ALIGNER AND METHOD OF MANUFACTURING MICRO DEVICE BY USING THE SAME例文帳に追加
投影露光装置及び該装置を用いたマイクロデバイス製造方法 - 特許庁
METHOD FOR CORRECTING IMAGE ERROR IN PROJECTION ALIGNER AND ESPECIALLY IN PROJECTION OPTICAL SYSTEM PROJECTION ALIGNER FOR MICROLITHOGRAPHY例文帳に追加
投影露光装置、ならびに、特にミクロリソグラフィのための投影露光装置の投影光学系で発生する結像誤差を補正する方法 - 特許庁
LIGHTING DEVICE, POSITION-MEASURING DEVICE, AND ALIGNER AND EXPOSURE METHOD例文帳に追加
照明装置、位置計測装置、並びに露光装置及び露光方法 - 特許庁
OPTICAL WORKPIECE MEMBER, OPTICAL MEMBER, OPTICAL SYSTEM AND OPTICAL ALIGNER例文帳に追加
光学用被加工部材,光学部材,光学系及び光露光装置 - 特許庁
ALIGNER, DEVICE MANUFACTURING METHOD, PATTERN GENERATION DEVICE, AND MAINTENANCE METHOD例文帳に追加
露光装置、デバイス製造方法、パターン生成装置及びメンテナンス方法 - 特許庁
POSITION DETECTION METHOD, POSITION DETECTION DEVICE, EXPOSURE METHOD AND ALIGNER例文帳に追加
位置検出方法、位置検出装置、露光方法、及び露光装置 - 特許庁
METHOD OF EXPOSURE AND ALIGNER MANUFACTURE THEREBY AND ITS MANUFACTURE例文帳に追加
露光方法ならびにそれを用いたデバイスおよびデバイス製造方法 - 特許庁
IMAGING OPTICAL SYSTEM, ILLUMINATION OPTICAL SYSTEM, ALIGNER AND METHOD FOR EXPOSURE例文帳に追加
結像光学系、照明光学系、露光装置及び露光方法 - 特許庁
PROJECTION ALIGNER AND METHOD THEREFOR, AND MANUFACTURE OF CIRCUIT THEREOF例文帳に追加
投影露光装置及び露光方法、並びに回路の製造方法 - 特許庁
CHARGED PARTICLE BEAM PROJECTION ALIGNER AND METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
荷電粒子線露光装置、及び半導体装置の製造方法 - 特許庁
SEMICONDUCTOR ALIGNER AND MANUFACTURE OF DEVICE, USING THE SAME例文帳に追加
半導体露光装置および同装置を用いるデバイス製造方法 - 特許庁
To achieve resolution exceeding the resolution limit of existing aligners by means of an aligner, manufactured through the existing aligner manufacturing technique.例文帳に追加
既存の露光装置の解像限界を越えた解像力を既存の露光装置製造技術で製造した露光装置により達成する。 - 特許庁
ALIGNER, MANUFACTURING METHOD THEREOF AND MICRODEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
露光装置、露光装置の製造方法及びマイクロデバイスの製造方法 - 特許庁
METHOD OF EXPOSURE, ALIGNER, METHOD OF MANUFACTURING DEVICE, AND MICRODEVICE例文帳に追加
露光方法と露光装置、及びデバイスの製造方法とマイクロデバイス - 特許庁
OPTICAL DEVICE, OPTICAL PROJECTION SYSTEM, ALIGNER AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
光学装置、投影光学系、露光装置及びデバイスの製造方法 - 特許庁
ALIGNER AND ANTI-VIBRATION DEVICE, AND SYSTEM IDENTIFICATION DEVICE AND ITS METHOD例文帳に追加
露光装置及び除振装置、システム同定装置及びその方法 - 特許庁
PROJECTION OPTICAL SYSTEM, ALIGNER, DEVICE MANUFACTURING METHOD AND DEVICE例文帳に追加
投影光学系及び露光装置及びデバイス製造方法及びデバイス - 特許庁
APPARATUS FOR FORMING FILM, METHOD THEREFOR, ALIGNER, AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
成膜装置及び方法、露光装置、並びに、デバイス製造方法 - 特許庁
LINEAR MOTOR, METHOD OF CONTROLLING LINEAR MOTOR, STAGE DEVICE, AND ALIGNER例文帳に追加
リニアモータ、リニアモータの制御方法及びステージ装置並びに露光装置 - 特許庁
To provide a multistage aligner apparatus having high freedom in selecting a sensor.例文帳に追加
センサの選定の自由度が高い多段アライナ装置を提供する。 - 特許庁
PROJECTION ALIGNER AND MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR ELEMENT USING IT例文帳に追加
投影露光装置及びそれを用いた半導体素子の製造方法 - 特許庁
ALIGNER, EXPOSURE METHOD, TRANSPORTING METHOD OF SUBSTRATE AND SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
露光装置、露光方法、基板の搬送方法、および半導体デバイス - 特許庁
LINEAR MOTOR AND ITS MANUFACTURING METHOD, AND STAGE DEVICE AND ALIGNER例文帳に追加
リニアモータとその製造方法及びステージ装置並びに露光装置 - 特許庁
POSITIONING STAGE DEVICE, SEMICONDUCTOR ALIGNER AND MANUFACTURE OF DEVICE例文帳に追加
位置決めステージ装置、半導体露光装置およびデバイス製造方法 - 特許庁
ALIGNER AND METHOD THEREFOR, AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICES AND MASKS例文帳に追加
露光装置、露光方法、半導体装置製造方法、および、マスク - 特許庁
POSITIONING STAGE DEVICE, COLOR FILTER MANUFACTURING DEVICE AND LIQUID CRYSTAL ALIGNER例文帳に追加
位置決めステージ装置、カラーフィルタ製造装置および液晶用アライナ - 特許庁
DIMMING UNIT, LIGHTING OPTICAL SYSTEM, ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
減光ユニット、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 - 特許庁
To smoothly exchange a reticle without enlarging the size of an aligner.例文帳に追加
装置を大型化させることなく、レチクル交換を円滑に行う。 - 特許庁
ILLUMINATING OPTICAL SYSTEM AND ALIGNER HAVING IT例文帳に追加
照明光学系及び当該照明光学系を有する露光装置 - 特許庁
APPARATUS AND METHOD FOR MEASURING POSITION, ALIGNER AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
位置計測装置及び方法、露光装置、並びにデバイス製造方法 - 特許庁
MULTIPLE EXPOSURE METHOD, MICROLITHOGRAPHIC PROJECTION ALIGNER, AND PROJECTION SYSTEM例文帳に追加
多重露光方法、マイクロリソグラフィー投影露光装置および投影系 - 特許庁
ALIGNER, EXPOSURE METHOD AND NETHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
露光装置および露光方法および半導体装置の作製方法 - 特許庁
SCANNING ALIGNER, SCANNING EXPOSURE METHOD, METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE, AND DEVICE例文帳に追加
走査露光装置、走査露光方法、デバイス製造方法およびデバイス - 特許庁
ALIGNER, MANUFACTURING METHOD THEREOF, MANUFACTURING METHOD FOR MICRO DEVICE例文帳に追加
露光装置、露光装置の製造方法及びマイクロデバイスの製造方法 - 特許庁
CHARGED PARTICLE BEAM ALIGNER AND DEVICE-MANUFACTURING METHOD USING IT例文帳に追加
荷電粒子線露光装置及び該装置を用いたデバイス製造方法 - 特許庁
WAVEFRONT ABERRATION MEASURING DEVICE, METHOD OF CALIBRATING THE SAME, AND ALIGNER例文帳に追加
波面収差計測装置、該装置の校正方法、及び露光装置 - 特許庁
SCANNING PROJECTION ALIGNER AND MANUFACTURE OF DEVICE USING THE SAME例文帳に追加
走査型投影露光装置及びそれを用いたデバイスの製造方法 - 特許庁
In an exposure process, a prescribed pattern is exposed on a piece of wafer using a first aligner and a second aligner.例文帳に追加
露光工程においては、第1の露光装置と第2の露光装置とを用いて、1枚のウェハに予め定められたパターンが露光される。 - 特許庁
OPTICAL CHARACTERISTIC MEASURING METHOD, APPARATUS THEREOF AND ALIGNER例文帳に追加
光学特性測定方法、光学特性測定装置、及び露光装置 - 特許庁
METHOD FOR TRANSFERRING PATTERN USING NEAR FIELD LITHOGRAPHY AND ITS ALIGNER例文帳に追加
近接場リソグラフィによるパターンの転写方法とその露光装置 - 特許庁
POSITION DETECTING APPARATUS, POSITION DETECTING METHOD, ALIGNER AND EXPOSING METHOD例文帳に追加
位置検出装置、位置検出方法、露光装置、及び露光方法 - 特許庁
PROJECTION OPTICAL SYSTEM, PROJECTION ALIGNER, EXPOSURE METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
投影光学系、投影露光装置、露光方法、デバイス製造方法 - 特許庁
SUBSTRATE TO BE EXPOSED, ALIGNER, EXPOSURE METHOD AND MANUFACTURE OF DEVICE例文帳に追加
被露光基板、露光装置、露光方法、及びデバイスの製造方法 - 特許庁
PROJECTION OPTICAL SYSTEM AND MANUFACTURING METHOD THEREOF, PROJECTION ALIGNER, AND EXPOSURE METHOD例文帳に追加
投影光学系、その製造方法、露光装置および露光方法 - 特許庁
APPARATUS FOR MEASURING OPTICAL CHARACTERISTICS, ALIGNER AND METHOD FOR MANUFACTURING THE DEVICE例文帳に追加
光学特性測定装置、露光装置、およびデバイスの製造方法 - 特許庁
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