ALIGNERを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 2856件
SUBSTRATE PROCESSING METHOD, DEVICE MANUFACTURING SYSTEM, ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
基板処理方法、デバイス製造システム、露光装置、及びデバイス製造方法 - 特許庁
MARK DETECTING APPARATUS, ALIGNER, DEVICE, METHOD OF DETECTING MARK, AND METHOD OF EXPOSURE例文帳に追加
マーク検知装置、露光装置、デバイス、マーク検知方法及び露光方法 - 特許庁
ELECTRIC DISCHARGE LIGHT SOURCE UNIT, LIGHTING OPTICAL DEVICE, ALIGNER, AND EXPOSURE METHOD例文帳に追加
放電光源ユニット、照明光学装置、露光装置および露光方法 - 特許庁
PROJECTION ALIGNER, AND MANUFACTURING METHOD FOR DEVICE例文帳に追加
投影露光装置および該投影露光装置を用いたデバイスの製造方法 - 特許庁
MULTIFACETED REFLECTOR, MANUFACTURING METHOD THEREOF, AND PROJECTION ALIGNER例文帳に追加
多面反射鏡の製造方法、多面反射鏡および投影露光装置 - 特許庁
OPTICAL MEMBER, ILLUMINATOR, AND ALIGNER HAVING OPTICAL MEMBER例文帳に追加
光学部材、当該光学部材を有する照明装置及び露光装置 - 特許庁
MEASURING METHOD AND EXPOSING METHOD, ALIGNER, AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
計測方法及び露光方法、露光装置、並びにデバイス製造方法 - 特許庁
ABSOLUTE WAVELENGTH STABILIZING METHOD OF EXCIMER LASER, STABILIZER AND ALIGNER例文帳に追加
エキシマレーザーの絶対波長安定化方法、安定化装置、及び露光装置 - 特許庁
DRIVING METHOD OF PHOTODIODE ARRAY SENSOR AND PROJECTION ALIGNER USING THE SAME例文帳に追加
フォトダイオードアレイセンサの駆動方法及びそれを用いた投影露光装置 - 特許庁
OPTICAL DEVICE, MULTILAYER FILM REFLECTING MIRROR, ALIGNER, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
光学装置、多層膜反射鏡、露光装置、及びデバイス製造方法 - 特許庁
PACKET RE-ALIGNER AND PACKET RE-ALIGNING METHOD FOR DISTRIBUTED SWITCH SYSTEM例文帳に追加
分散型スイッチシステムのパケット再整列器およびパケット再整列方法 - 特許庁
CHARGED PARTICLE BEAM ALIGNER, ELECTROSTATIC DEFLECTOR AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME例文帳に追加
荷電粒子ビーム露光装置、静電偏向器およびその製造方法 - 特許庁
IMMERSION ALIGNER AND ITS METHOD, AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
液浸露光装置とその方法、および、半導体デバイスの製造方法 - 特許庁
LINEAR MOTOR, COOLING METHOD AND STAGE DEVICE FOR LINEAR MOTOR, AND ALIGNER例文帳に追加
リニアモータ、リニアモータの冷却方法及びステージ装置並びに露光装置 - 特許庁
RETICLE, WAVEFRONT ABERRATION MEASURING INSTRUMENT, AND MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR ALIGNER例文帳に追加
レチクル、波面収差測定機、及び半導体露光装置の製造方法 - 特許庁
ELECTRON BEAM ALIGNER, AND CALIBRATING MEMBER FOR ELECTRON BEAM IRRADIATION POSITION例文帳に追加
電子ビーム露光装置及び電子ビームの照射位置の校正用部材 - 特許庁
SEMICONDUCTOR ALIGNER PROVIDED WITH MEANS FOR MEASURING ABERRATION OF PROJECTION OPTICAL SYSTEM例文帳に追加
投影光学系の収差測定手段を有する半導体露光装置 - 特許庁
LIQUID CRYSTAL MATRIX PROJECTION ALIGNER AND METHOD THEREOF例文帳に追加
液晶マトリックス投影露光装置および液晶マトリックス投影露光方法 - 特許庁
A fine structure of nano meter level can be readily formed without using an expensive electronic beam aligner, an X-ray aligner or the like.例文帳に追加
高価な電子ビーム露光装置やX線露光装置等を用いなくても、ナノメータレベルの微細構造を簡単に形成することが可能である。 - 特許庁
To prevent the performance of an aligner from deteriorating by sustaining temperature regulation constantly at a high accuracy part, e.g. a projection lens, even when the aligner is not operated but stored.例文帳に追加
露光装置を稼動せずに保管する間も投影レンズ等の高精度部位の温調を常時継続して装置性能の劣化を防ぐ。 - 特許庁
EXPOSURE METHOD, CLEANING METHOD, MANUFACTURING METHOD OF DEVICE AND ALIGNER例文帳に追加
露光方法と洗浄方法とデバイスの製造方法、および露光装置 - 特許庁
STAGE APPARATUS AND ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD USING THE APPARATUS例文帳に追加
ステージ装置およびこれを用いた露光装置ならびにデバイス製造方法 - 特許庁
TRANSMISSION TYPE OPTICAL DEVICE, MANUFACTURING METHOD FOR THE SAME, AND PROJECTION ALIGNER例文帳に追加
透過型光学素子及びその製造方法、並びに投影露光装置 - 特許庁
ALIGNER, EXPOSING METHOD AND METHOD OF MANUFATCURING SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
露光装置および露光方法ならびに半導体デバイスの製造方法 - 特許庁
ALIGNER, ALIGNING METHOD, AND PROCESS FOR FABRICATING DEVICE HAVING MICROPATTERN例文帳に追加
露光装置、露光方法、および微細パターンを有するデバイスの製造方法 - 特許庁
CHARGED PARTICLE BEAM PROJECTION ALIGNER AND BLANKING APERTURE ARRAY USED THEREBY例文帳に追加
荷電粒子ビーム露光装置及びそこで使用するブランキング・アパーチャ・アレイ - 特許庁
ILLUMINATION OPTICAL DEVICE, ALIGNER, METHOD OF EXPOSURE, AND METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR例文帳に追加
照明光学装置、露光装置、露光方法及び半導体製造方法 - 特許庁
ALIGNER, SUBSTRATE TREATING DEVICE, LITHOGRAPHY SYSTEM, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
露光装置、基板処理装置及びリソグラフィシステム、並びにデバイス製造方法 - 特許庁
TRANSFER MASK WITH DRIVE MECHANISM AND ELECTRON BEAM PROJECTION ALIGNER HAVING THE SAME例文帳に追加
駆動機構付き転写マスク及びそれを備えた電子線投影露光装置 - 特許庁
SCANNING TYPE ALIGNER AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE USING THE SAME例文帳に追加
走査型露光装置及び該走査型露光装置を用いるデバイス製造方法 - 特許庁
MASK FOR EXPOSING PROXIMATE FIELD, ITS MANUFACTURING METHOD, ALIGNER AND EXPOSING METHOD例文帳に追加
近接場露光用マスク及びその製造方法、露光装置及び方法 - 特許庁
CLEANING METHOD FOR OPTICAL COMPONENT, IMMERSION PROJECTION ALIGNER AND EXPOSURE METHOD例文帳に追加
光学部品の洗浄方法、液浸投影露光装置および露光方法 - 特許庁
SCAN TYPE ALIGNER, AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE USING THE SAME例文帳に追加
走査型露光装置、その走査型露光装置を用いるデバイス製造方法 - 特許庁
STAGE-DRIVING METHOD, METHOD AND ALIGNER, AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
ステージ駆動方法、露光方法及び露光装置、並びにデバイス製造方法 - 特許庁
ILLUMINATION OPTICAL DEVICE, PROJECTION ALIGNER, EXPOSURE METHOD AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
照明光学装置、投影露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 - 特許庁
APPARATUS AND METHOD FOR DETECTING POSITION ALIGNER AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
位置検出方法及び装置及び露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁
METHOD FOR MANUFACTURING MULTI-SURFACE REFLECTION MIRROR, AND ALIGNER USING REFLECTION MIRROR例文帳に追加
多面反射鏡の製造方法および反射鏡を用いた露光装置 - 特許庁
POSITIONING METHOD OF PHOTO MASK, MANUFACTURING METHOD OF MASTER DISK, AND ALIGNER例文帳に追加
フォトマスクの位置決め方法及びマスタディスクの作製方法並びに露光装置 - 特許庁
ALIGNER, EXPOSING METHOD, AND MANUFACTURING METHOD AND EXPOSURE PROGRAM OF SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
露光装置、露光方法、半導体装置の製造方法および露光プログラム - 特許庁
STAGE DEVICE AND ITS DRIVING METHOD, AND ALIGNER AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
ステージ装置及びその駆動方法、露光装置並びにデバイス製造方法 - 特許庁
ALIGNER AND METHOD OF CONTROLLING THE SAME, AND METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
露光装置及びその制御方法、並びに半導体デバイスの製造方法 - 特許庁
The mask 50 for inspection is placed on a photomask stage 34 of the aligner 30.例文帳に追加
露光装置30のフォトマスクステージ34に、検査用マスク50を載置する。 - 特許庁
ALIGNER AND ITS CONTROLLING METHOD, AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE USING THE SAME例文帳に追加
露光装置及びその制御方法、これを用いたデバイスの製造方法 - 特許庁
FACE POSITION DETECTING DEVICE AND METHOD THEREFOR, ALIGNER AND ABERRATION CORRECTING METHOD例文帳に追加
面位置検出装置及び方法、露光装置並びに収差補正方法 - 特許庁
SHUTTER BLADE DEVICE, SHUTTER UNIT, IMAGING APPARATUS, ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
シャッタ羽根装置、シャッタユニット、撮像装置、露光装置およびデバイス製造方法 - 特許庁
OPTICAL-ELEMENT-HOLDING DEVICE, BODY TUBE, ALIGNER, AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
光学素子保持装置、鏡筒及び露光装置並びにデバイスの製造方法 - 特許庁
METHOD FOR PRODUCING THIN FILM, THIN FILM PRODUCTION DEVICE, ELEMENT AND PROJECTION ALIGNER例文帳に追加
薄膜の製造方法、薄膜製造装置、素子、および投影露光装置 - 特許庁
OPTICAL SYSTEM, ABERRATION ADJUSTING METHOD THEREFOR, ALIGNER AND EXPOSURE METHOD例文帳に追加
光学系の収差調整方法、光学系、露光装置および露光方法 - 特許庁
SCANNING PROJECTION ALIGNING METHOD, LASER, SCANNING PROJECTION ALIGNER, AND MANUFACTURE OF DEVICE例文帳に追加
走査露光方法、レ—ザ装置、走査型露光装置、及びデバイス製造方法 - 特許庁
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