「ALIGNER」に関連した英語例文の一覧と使い方(24ページ目) - Weblio英語例文検索

PROXIMITY EXPOSURE DEVICE AND EXPOSURE METHOD USING THIS PROXIMITY ALIGNER例文帳に追加

プロキシミティ露光装置及びこのプロキシミティ露光装置を用いた露光方法 - 特許庁

OPTICAL ELEMENT AND ITS FABRICATION PROCESS, PROJECTION OPTICAL SYSTEM, AND ALIGNER例文帳に追加

光学素子及びその製造方法、投影光学系、並びに露光装置 - 特許庁

The aligner exposes a substrate to exposure light via a first liquid.例文帳に追加

露光装置は、第１液体を介して露光光で基板を露光する。 - 特許庁

POSITION MEASURING APPARATUS, ALIGNER, EXPOSURE SYSTEM AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

位置計測装置、露光装置、及び露光システム、並びにデバイス製造方法 - 特許庁

LASER DEVICE, CONTROL METHOD THEREFOR, ALIGNER AND EXPOSURE METHOD例文帳に追加

レーザ装置及びその制御方法、並びに露光装置及び露光方法 - 特許庁

ALIGNER FOR WAFER, CARRYING APPARATUS EQUIPPED WITH THE SAME AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS例文帳に追加

ウェハのアライメント装置、それを備えた搬送装置、半導体製造装置 - 特許庁

SEMICONDUCTOR PROJECTION ALIGNER, DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR例文帳に追加

半導体露光装置、半導体製造装置および半導体製造方法 - 特許庁

To enable an aligner to easily align a plurality of kinds of mask substrates having alignment marks at different positions when the aligner uses the mask substrates.例文帳に追加

露光装置において、異なる位置にアライメントマークを有する複数種類のマスク基板を使用する際に、マスク基板のアライメントを容易にすること。 - 特許庁

PROJECTION ALIGNER, PROJECTION EXPOSURE METHOD, AND MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR例文帳に追加

投影露光装置、投影露光方法および半導体の製造方法 - 特許庁

POSITION DETECTION APPARATUS AND METHOD, PROJECTION ALIGNER, AND MANUFACTURING METHOD OF DEVICE例文帳に追加

位置検出装置及び方法並びに露光装置、デバイスの製造方法 - 特許庁

POSITION DETECTING METHOD AND APPARATUS, AND ALIGNER EQUIPPED WITH THE APPARATUS例文帳に追加

位置検出方法及び装置、並びに前記装置を備えた露光装置 - 特許庁

ALIGNMENT METHOD, MANUFACTURING METHOD OF DEVICE, ALIGNMENT DEVICE AND ALIGNER例文帳に追加

位置合せ方法、デバイス製造方法、位置合せ装置、および露光装置 - 特許庁

METHOD AND APPARATUS FOR RADIATION COOLING OF IN-ALIGNER UNIT例文帳に追加

露光装置内ユニットの輻射冷却方法及び輻射冷却装置 - 特許庁

PROJECTION ALIGNER AND METHOD THOREOF, AND REFLECTION REDUCING PROJECTION OPTICAL SYSTEM例文帳に追加

投影露光装置及び方法、並びに反射縮小投影光学系 - 特許庁

POSITION MEASUREMENT METHOD, POSITION MEASUREMENT DEVICE, EXPOSURE METHOD AND ALIGNER例文帳に追加

位置計測方法、位置計測装置および露光方法並びに露光装置 - 特許庁

REFLECTOR FOR ULTRAVIOLET REGION AND PROJECTION ALIGNER EMPLOYING IT例文帳に追加

紫外域用反射ミラー装置及びそれを用いた投影露光装置 - 特許庁

PROJECTION ALIGNER AND FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE EMPLOYING THE SAME例文帳に追加

投影露光装置およびそれを用いた半導体デバイスの製造方法 - 特許庁

ALIGNER, PROJECTION OPTICAL SYSTEM THEREOF, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加

露光装置の投影光学系、露光装置およびデバイスの製造方法 - 特許庁

STAGE DEVICE, PROJECTION ALIGNER USING STAGE DEVICE, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

ステージ装置及びこれを用いた露光装置並びにデバイス製造方法 - 特許庁

LIGHT CONDENSING OPTICAL SYSTEM, LIGHT SOURCE UNIT, LIGHTING OPTICAL APPARATUS, AND ALIGNER例文帳に追加

集光光学系、光源ユニット、照明光学装置および露光装置 - 特許庁

To provide an aligner that can quickly and accurately detect the position of a space image, and a position detection method in the aligner.例文帳に追加

空間像の位置検出を短時間で正確に行うことができる露光装置、及びその露光装置における位置検出方法を提供する。 - 特許庁

METHOD FOR INSPECTING FLUORIDE SINGLE CRYSTAL, OPTICAL MEMBER AND PROJECTION ALIGNER例文帳に追加

フッ化物単結晶の検査方法、光学部材及び投影露光装置 - 特許庁

APPARATUS AND METHOD FOR OSCILLATING EXCIMER LASER, ALIGNER, AND LASER TUBE例文帳に追加

エキシマレーザ発振装置及び発振方法、露光装置ならびにレーザ管 - 特許庁

ALIGNING METHOD AND ALIGNER AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加

露光方法および露光装置並びに半導体装置の製造方法 - 特許庁

STEP-AND-SCAN TYPE PROJECTION ALIGNER, MAINTENANCE METHOD THEREFOR, AND SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PLANT USING THE ALIGNER例文帳に追加

ステップ＆スキャン式投影露光装置、その保守方法並びに同装置を用いた半導体デバイス製造方法および半導体製造工場 - 特許庁

POSITIONING DEVICE, ATMOSPHERE REPLACEMENT METHOD, ALIGNER AND MANUFACTURE OF DEVICE例文帳に追加

位置決め装置、雰囲気置換方法、露光装置およびデバイス製造方法 - 特許庁

ALIGNER, MASK APPARATUS, PATTERN PROTECTIVE APPARATUS, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加

露光装置、マスク装置及びパターン保護装置、並びにデバイス製造方法 - 特許庁

SCAN EXPOSING METHOD, SCANNING ALIGNER, LASER APPARATUS, AND ELEMENT MANUFACTURE例文帳に追加

走査露光方法、走査型露光装置、レーザ装置、および素子製造方法 - 特許庁

LIGHTING OPTICAL DEVICE AND ALIGNER HAVING THE LIGHTING OPTICAL DEVICE例文帳に追加

照明光学装置および該照明光学装置を備えた露光装置 - 特許庁

LUMINOUS ELEMENT, LIGHT EMITTING DEVICE, DISPLAY DEVICE, ALIGNER, AND IMAGE FORMING DEVICE例文帳に追加

発光素子、発光装置、表示装置、露光装置及び画像形成装置 - 特許庁

EXPOSURE METHOD, MANUFACTURE OF CIRCUIT PATTERN BODY USING THE SAME, AND ALIGNER, AND CIRCUIT PATTERN BODY MANUFACTURED BY MEANS OF THE ALIGNER例文帳に追加

露光方法とその露光方法を用いた回路パタ—ン体製造方法、及び露光装置とその露光装置により製造された回路パタ—ン体 - 特許庁

ALIGNER, EXPOSURE METHOD, DRAWING DEVICE, AND DRAWING METHOD例文帳に追加

露光装置および露光方法、ならびに描画装置および描画方法 - 特許庁

REFLECTION TYPE CONTRACTION PROJECTION OPTICAL SYSTEM, ALIGNER AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

反射型縮小投影光学系、露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁

METHOD FOR DRIVING INTEGRATED LIGHT EMITTING DEVICE AND METHOD FOR DRIVING ALIGNER例文帳に追加

集積型発光装置の駆動方法及び露光装置の駆動方法 - 特許庁

These projection systems are integrated with a common projection aligner (1).例文帳に追加

これらの投影系は、共通の投影露光装置（１）に一体化される。 - 特許庁

POSITION DETECTOR AND SEMICONDUCTOR ALIGNER EMPLOYING THE SAME例文帳に追加

位置検出装置及び該位置検出装置を用いた半導体露光装置 - 特許庁

VARIABLE SLIT ARRANGEMENT, ILLUMINATION DEVICE, ALIGNER, AND MANUFACTURING METHOD OF DEVICE例文帳に追加

可変スリット装置、照明装置、露光装置、及びデバイスの製造方法 - 特許庁

STAGE EQUIPMENT, ITS CONTROL METHOD, ALIGNER AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

ステージ装置及びその制御方法、露光装置、並びにデバイス製造方法 - 特許庁

ILLUMINATION OPTICAL SYSTEM, AND ALIGNER AND EXPOSURE METHOD USING IT例文帳に追加

照明光学系およびそれを用いた露光装置並びに露光方法 - 特許庁

ALIGNMENT MEASURING PARAMETER ADJUSTING METHOD, ALIGNMENT METHOD AND ALIGNER例文帳に追加

アライメント計測用パラメータ調整方法、アライメント方法および露光装置 - 特許庁

FILM-FORMING METHOD, OPTICAL ELEMENT, AND PROJECTION ALIGNER MOUNTING IT THEREON例文帳に追加

成膜方法、光学素子及びそれが搭載された投影露光装置 - 特許庁

METHOD OF CONTROLLING STAGE, STAGE DEVICE, ALIGNER, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加

ステージ制御方法、ステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法 - 特許庁

BOARD SURFACE POSITION-DETECTING APPARATUS AND METHOD THEREFOR, AND ALIGNER例文帳に追加

基板面位置検出装置、基板面位置検出方法及び露光装置 - 特許庁

PROJECTION OPTICAL SYSTEM, ALIGNER AND MANUFACTURE OF THE PROJECTION OPTICAL SYSTEM例文帳に追加

投影光学系、露光装置及び前記投影光学系の製造方法 - 特許庁

EXPOSURE METHOD, SURFACE-ALIGNING METHOD, ALIGNER AND MANUFACTURING METHOD OF DEVICE例文帳に追加

露光方法、面位置合わせ方法、露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁