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EPWを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 4件
On a susceptor 2B, a substrate wafer W is placed when manufacturing an epitaxial wafer EPW.例文帳に追加
サセプタ2Bは、エピタキシャルウェーハEPWを製造する際に基板ウェーハWが載置される。 - 特許庁
On the susceptor 2 constituting the device 1 for manufacturing epitaxial wafer, a substrate wafer W is placed at the time of manufacturing the epitaxial wafer EPW by forming an epitaxial film EP on the surface of the substrate wafer W.例文帳に追加
製造装置1を構成するサセプタ2は、基板ウェーハWの表面にエピタキシャル膜EPを形成してエピタキシャルウェーハEPWを製造する際に基板ウェーハWが載置されるサセプタである。 - 特許庁
Infrared rays are projected on a semiconductor wafer EPW in which the plurality of thin film layers E1, E2 having dopant concentrations different from each other are formed on the substrate S, and the creation of interferogram based on the measurement of reflecting light is carried out more than one time.例文帳に追加
基板S上に互いにドーパント濃度の異なる複数層の薄膜E1,E2が形成された半導体ウェーハEPWに対し赤外線を照射し、この反射光の測定に基づくインターフェログラムの生成を複数回行う。 - 特許庁
The epitaxyial wafer EPW obtained at the step S2 is taken out from the reaction chamber at the step S3 and then immediately contacted with the air containing ozone at the S4 to form the chemical silicon oxidation membrane on the surface of the epitaxyial layer E.例文帳に追加
ステップS2で得られたエピタキシャルウェーハEPWをステップS3にて反応室から搬出し、直ちにステップS4にてオゾン含有空気に接触させることにより、シリコンエピタキシャル層Eの表面に化学的シリコン酸化膜Cを形成する。 - 特許庁
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